PECVD系统
报价9span>面议
品牌9/td> 贝意兊/td>
产地9/td> 安徽合肥
关注度: 458
型号9/td> BTF-1400C-D-CVD
核心参数

非金属电热元件:碳化硄/span>

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

温控精度9span>±1ℂ/span>

最高温度:1400ℂ/span>

额定温度9span>?300ℂ/span>

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产品介绍

一、产品特艱/span>

1、开启式加热炈/span>

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配S型热电偶,单点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

2、气路系统可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比,另外单?路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气参与反应。气路管路及阀门,精工件都采用316L材质、/span>

3、反应管组件

反应管组件使用耐高温刚玉管,石英管两端安装可旋转磁流体,采用步进电机驱动进行旋转、/span>

4、射频组仵/span>

大功率射频发生器,配合石英反应管可使整个实验腔体都处于辉光区域,反应均匀、/span>

5、蒸发系绞/span>

采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式,确保蒸发源有足够的反应温度

6、真空系绞/span>

双真空泵联动结构,配合尾气中和罐,可对实验产生的尾气进行处理

7、智能控制系

采用智能PID模糊控制?0段可编程控制。具有超温和断偶报警功能、/span>


二、技术参?/strong>

**温度

1400ℂ/span>

持续工作温度

?300ℂ/span>

升温速率

?0?min

控温精度

±1ℂ/span>

加热元件

硅碳棑/span>

热电偵/span>

S垊/span>

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能、/span>

加热总功玆/span>

?0KW

加热区尺寷/span>

350+400+350mm

真空?/span>

?pa

射频功率

1000W

设备尺寸

3000*600*1500mm

设备重量

?000KG


问商宵/div>
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  • PECVD系统的使用方法?
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  • PECVD系统使用的注意事顸/li>
  • PECVD系统的说明书有吗>/li>
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安徽贝意克设备技术有限公司为您提供贝意克PECVD系统,PECVD系统产地为安徽合肥,属于管式炉,除了PECVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80、大面积CVD石墨烯生长设备、前端预热法硫化钼制备设备
工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公号/p>

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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