连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
报价9span>面议
品牌9/td> 贝意兊/td>
产地9/td> 安徽合肥
关注度: 101
型号9/td> BTF-1200C-R-PECVD-AD2
核心参数

温控精度9span>±1ℂ/span>

最高温度:1200ℂ/span>

额定温度9span>?000ℂ/span>

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>铁铬铝丝

烧结气氛9span>其他

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产品介绍

一、设备组戏/span>

设备组成部分包含?)加热系?)Plasma系统3)炉管转动系?)炉管倾斜系统5)触屏操作系?)进出料组件7)进出气法兰组件8)炉管及安全保护组件 9)真空系统?0)场内小电流装置


二、结构描?/span>

1、加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区,温区?40mm,异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200、/span>

2、Plasma系统9/span>

本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式、/span>

3、炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉?60°匀速转动,转速在0-20rpm连续可调、/span>

4、搅拌转动系统可以实?60°匀速转动,转速在0-30rpm连续可调、/span>

5、炉管倾斜系统可以大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度?-30°之间、/span>

6、触屏操作系统:该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作、/span>

7、进出料组件:进料端由进料罐+送料机构组成,出料端由收集罐+手动辅助升降组件组成

8、进出气法兰组件:设备法兰左端为进气端,一侧配有截止阀控制的进气口,对接混气罐输出的气体。另一侧预留KF25接口。右端为出气端,一侧由球阀控制的出气口,另一侧为KF25抽口、/span>

9、炉管及安全保护组件:炉管为异形石英管,通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转,设备左端法兰配有SMC安全保护组件、/span>

10、真空系统:由一个PCG550真空计和一台DRV16机械泵组成,抽口端由KF25手动挡板阀控制、/span>

11、场内小电流装置:设备左端为正极:由不锈钢杆和导电片组成;右端为负极,由不锈钢导电片固定在送料杆端头。正极配有外端接线棒、/span>

本设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能、/span>


三、技术参?/span>

额定功率

4KW

额定电压

AC220V

**温度

1200ℂ/span>

使用温度

950-1000ℂ/span>

炉管尺寸

异型管?0x100x1200mm

炉管旋转速率

0~20rpm

搅拌旋转速率

0~30rpm

炉体倾斜角度

0~35°(可调)

热电偶类垊/span>

K型热电偶

控温精度

±1ℂ/span>

控温方式

模糊PID控制和自动整定调节,智能?0段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

射频功率范围

0-500W

加热长度

440mm

恒温长度

200mm

加热元件

电阻东/span>

升温速率

0-20?min,建?0?min


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工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公号/p>

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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