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智能型PECVD系统
报价９span>面议
| 品牌９/td> | 贝意兊/td> |
| 产地９/td> | 安徽合肥 |
| 关注度： | 114 |
| 型号９/td> | PECVD-III-500A-D210 |
核心参数
非金属电热元件：其他
金属电热元件９span>铁铬铝丝
烧结气氛９span>其他
温控精度９span>±1ℂ/span>
最高温度：1200ℂ/span>
额定温度９span>?100ℂ/span>
产品介绍
一、设备组戏/strong>
这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统、/span>
1、开启式加热炈/span>
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶?点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管、/span>
2、气路系绞/span>
可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单?路过鼓泡器后进入反应管内、/span>
3、射频组仵/span>
1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区、/span>
4 智能控制系统
采用智能PID模糊控制?0段可编程控制。具有超温和断偶报警功能、/span>
二、技术参?/strong>
**温度 |
1200ℂ/span> |
持续工作温度 |
?100ℂ/span> |
升温速率 |
?0?min |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
加热元件 |
电阻东/span> |
热电偵/span> |
K垊/span> |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，人机界面加PLC控制?5寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
加热总功玆/span> |
?5KW |
加热区尺寷/span> |
300+300+300mm |
射频功率 |
1000W |
设备尺寸 |
2550*850*1600mm |
设备重量 |
?00KG |
问商宵/div>
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- 智能型PECVD系统多少钱一台？
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工商信息
企业名称
安徽贝意克设备技术有限公号/p>
企业类型
信用代码
91340100591423143H
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
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