1600℃多源高温CVD系统
报价9span>面议
品牌9/td>
产地9/td> 安徽合肥
关注度: 548
型号9/td> BTF-1600C-CVD-D2
核心参数

额定温度9span>?350ℂ/span>

非金属电热元件:硅钼棑/span>

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>氮气

温控精度9span>±1ℂ/span>

最高温度:1600ℂ/span>

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产品介绍

一、设备简今/strong>

BTF-1600C-CVD-D2是一台非标定制的多源高温CVD系统。本设备按客户要求加装刚玉管一支,加热炉,循环泵、排风系统、机架等。电气控制采用内置控温仪表,其控温精准且操作直观简便。仪表采用国?*品牌,质量精确可靠。炉管为刚玉管,外径?0m,长?000mm。炉管横放固定于炉膛内。左端法兰为进气端,配有压力保护组件?个进气口,其中一路由截止阀控制,为进混气;另外一路为环硼氮烷,通过电磁阀+单向阀控制;右端法兰为出气端,配有蝶阀控制的压力控制系统和真空泵组成,法兰前端配有搅拌机构,对于尾端沉积物料具有清理作用,同时配有过滤组件。设备进气端液态源蒸发组件制冷制热由循环泵工作,通过循环泵工作,以及管道保温及腔体保温隔绝等方法实现低温、高温下的切换。液态源密封腔室和加热炉密封腔室,均通过PVC管道连接至腔室顶部,通过管道风机与客户排风系统对接。本设备采用承重框架结合钣金包围形式。炉体和门板颜色采用深灰+时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能、/span>


二、技术参?/strong>

额定功率

6.5KW

额定电压

AC220V 50/60Hz

**温度

1600ℂ/span>

使用温度

?350ℂ/span>

推荐升温速率

1400℃以下≤10?min?400?1600℃≤5?min

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制

加热区长?/span>

300mm

炉管尺寸

刚玉箠/span>Φ60×1000mm

热电偵/span>

B型热电偶

控温精度

±1ℂ/span>

加热元件

硅钼棒(6根)

炉体尺寸

1930*1450*1935mm

净里/span>

500Kg


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公号/p>

企业类型

信用代码

91340100591423143H

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成立日期

注册资本

有效期限

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