反射功率

�?00W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定�?/span>

�?W

谐波分量

�?50dbc

供电电压

单相交流�?87V-253V�?nbsp;频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

标准量程（N₂)

200sccm�?00sccm�?000sccm（可根据用户要求定制（�/span>

准确�?/span>

±1.5%F.S

线�?/span>

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1�? Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1�?.5 MPa

压力

�?MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显礹�/span>

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空�?/span>

�?.1�?.15 MPa, 0.01 MPa/栻�/span>

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

工作环境

5℃～40ℂ�/span>

工作电电厊�/span>

380V

抽气速率

32m³/h

极限真空

5X10^-1Pa（空载冷态）

工作压力范围

1.01325X10⁵�?.33X10^-2Pa

进气口口徃�/span>

KF40

排气口口徃�/span>

KF40

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连