等离子体增强回转PECVD系统
报价9span>面议
品牌9/td> 贝意兊/td>
产地9/td> 安徽
关注度: 1867
型号9/td> BTF-1200C-S-R-PECVD
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>铁铬铝丝

烧结气氛9span>真空

温控精度9span>±1ℂ/span>

最高温度:1200ℂ/span>

额定温度9span>1100ℂ/span>

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产品介绍

一?span style="font-size: 16px; font-family: 微软雅黑, " microsoft="" box-sizing:="" animation-fill-mode:="" padding:="" margin:="" line-height:="">主要特点

我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象

该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度?~35°可调、br/>

此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验、/span>

  

二、技术参?/strong>

加热炈/strong>

使用温度

?200ℂ/span>

加热区长?/span>

440mm

恒温区长?/span>

200mm

加热元件

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

控温精度

±1ℂ/span>

控温方式

7"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

炉管尺寸

Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm

炉管转逞/span>

3~13r/min

倾斜角度

0~35°

PE溏/strong>

信号频率

13.56MHz±0.005%

功率输出范围

0-500W

射频输出接口

50Ω,N-type,female

功率稳定?/span>

?W

气路系统

供气系统

高精度质量流量计(量程可选)

准确?/span>

±1.5%

响应精度

±0.2%

响应时间

气特性:1~4sec,电特性:10sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa

压力

?MPa

连接头类垊/span>

Φ6mm双卡套不锈钢接头

真空系统

真空系统

采用KF25系列波纹管和手动挡板阀

真空度可?0-1Pa

数显真空测试仪可直观的显示数倻/span>


问商宵/div>
  • 等离子体增强回转PECVD系统的工作原理介绍?
  • 等离子体增强回转PECVD系统的使用方法?
  • 等离子体增强回转PECVD系统多少钱一台?
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安徽贝意克设备技术有限公司为您提供贝意克等离子体增强回转PECVD系统,等离子体增强回转PECVD系统产地为安徽,属于管式炉,除了等离子体增强回转PECVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80、大面积CVD石墨烯生长设备、前端预热法硫化钼制备设备
工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公号/p>

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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