仪器简介：
椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。此外，还可以测试材料的反射率及透过率、�/span>

技术参数：

*光谱范围: 190-885 nm（可扩展臲�/span>2100nm（�/span>
*微光斑可逈�/span>50μm-100μm-1mm
*探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT咋�/span>IGA探测�?/span>
*自动样品台尺寸：多种样品台可逈�/span>
*自动量角器：变角范围40° - 90°＋�/span>全自动调整，小步镾�/span>0.01°

主要特点９�/span>
* 50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件
*具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨玆�/span>
*具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监浊�/span>
*自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附仵�/span>
*配置灵活