InVueGV148液体浓度监测�

集成一体的实时过程监控系统

InVueGV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度，用于化学混合、提升浓度和稀释，无需中断过程检测�

InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小垊�/span>密封外壳中，可提供性价比高的浓度监测，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工厂生产系统的工艹�/span>效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格�从而提高工艺效率，减少成本投入，也减少废料的产生�

用户软件强大

采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支�GV148配置和实时监控。该软件允许用户:

·获得实时折射率、流体温度和浓度信息

·自定义折射率以及浓度切换

·获取和分析化学品特定温度补偿的数�

·传感器平衡操�

·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息

·折射率归�

·配置模拟输出

经过验证的折射率检测技�

GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术，外观小巧，可提供准确、安全和可重复的液体浒�/span>度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率（IoR）和温度。然后，我们将利用这些信�来计算工艺中液体的浓度、�/span>

工作原理

使用折射率技术，当光从平面玻璃或液体表面�射到光电二极管检测器（PDA）时，InVue®GV148浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反�光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的�力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点、�/span>

应用领域

·H2O2溶液混合

·研磨液稀�

·专有添加剂混�

·全球和本地循环监�

·批量溶液混合监控

·容器寿命检�

·CMP后清洁溶液混吇�/span>

功能与优劾�/span>

基于折射率的测量	为过程控制提供实时浓度和温度验证 快速响应时间，用于即时偏差检� 测量各种介质中的浓度，包括非导电流体 非直接接触式，保持化学物质纯度和洁净� 符合在线工艺效率要求
含氟聚合物和蓝宝矲�/span>的超纯润湿表靡�/span>	保持化学物质的纯度和洁净
小巧型电子产�?/span>	*小化整体工具体积 轻松集成到新的和现有的工具空闳�/span>
HMI软件	实时数据记录和分析工其�/span> 允许为定制专有化学品浓度监测 用于密切监控系统事件，参数变化和警报历史，包括详�的事件日忖�/span>
多种通信选项	RS485、RS422�?-20mA 灵活满足各种控制系统
全密封传感器	在恶劣的环境中依旧提供准确性、可重复性和可靠�?/span>
背景光扣除算泔�/span>	在背景光存在的情况下依旧保持高准确�?/span>
传感器无耗材	只需�?少的硬件和预防性维抣�/span>
镜面清洁端口	便于手动清洁蓝宝石镜靡�/span>
LED状态灯	提供监视器频次、通信和错误的指示
可选的N2/DI自动* 原位镜面清洁�?/span>	**限度地减少维护停机时间，特别是在研磨液和亲水�?/span>化学品中

*配备适当的阀门和控制�?/span>

功能与优劾�/span>

传感器结构材斘�/span>	流动池主佒�/span>	聚四氟乙烯（PTFE�?
	光学镜面	单晶蓝宝�?
	电缆护套	聚氯乙烯（PVC（�/span>
	阀盖、外売�/span>	聚偏氟乙烯（PVDF（�/span>
	安装松�/span>	聚丙烯（PP（�/span>
电器设备	电缆连接	19 pin Turck® male
	额定电流	启动�?.0A ; 操作期间0.5A
	主电压输�?/span>	24 VDC
	IO电压输入	12 � 24 VDC
	短路保护	�?/span>
	外部LED	4
	模拟输出	4 � 20 mA 浓度、流体温度、折射率（RI（�/span>
	离散数字输入	2
	离散数字输出	** 2.80 mAdc (各个部件)
	复位	数字输入、串行命令或HMI软件
串行通信	**压力	80psi 40�?104°F)
	工艺流体温度范围	20°C to 40°C(68°to104°F)
	环境温度范围	20°C to 35�?68°to95°F)
	储存温度范围	-15°C to 40°C(5°to 104°F)
折射率检浊�/span>	折射率检测范�?*	1.32-1.40 nD
	准确�?/span>	±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD)
	重复�?/span>	5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液体�?
	精度	3×10-6nD(@20°C[68°F]纯水�?
	响应时间	<3sec �?3%稳态变化的非平均响应时闳�/span>
	趋势变化	<5×10-5nD/30days(@20℃[68°F])
	压力敏感度（典型（�/span>	8×103nD/psig(@20°C[68°F]纯水�?
符合ROHS标准	符合
附件	IP54
培训	一欠�/span>

*亲水性的组件

**对于折射率超出此范围的流体，请联系奥法美嘈�/span>

配置

入口/出口连接端口	尺寸
	A	B	C
1/4"Flaretek管配仵�/td>	114.6mm(4.51")	33.0mm(1.30")	111.0mm(4.37")
3/8Flaretek管配仵�/td>	117.7mm(4.64")	34.7mm(1,.37")	113.5mm(4.47")
1/2"Flaretek管配仵�/td>	120.9mm(4.76")	36.3mm(1.43")	119.6mm(4.71")
3/4"Faretek管配仵�/td>	126.6mm(4,99")	38.9mm(1.53")	132.6mm(5.22")
1"Faretek管配仵�/td>	126.6mm(4,99")	38.9mm(1.53")	154.9mm(6.10")
1/2"Primelock管配仵�/td>	120.9mm(4.76")	36.3mm(1.43")	122.9mm(4.84")
1"Primelock管配仵�/td>	126.6mm(4,99")	38.9mm(1.53")	149.6mm(5.891)
1/4"支柱管接夳�/td>	114.6mm(4.51")	33.0mm(1.30")	100.5mm(3.96")
3/8"支柱管接夳�/td>	117.7mm(4.64")	34.7mm(I.37")	112.5mm(4.43")
3/4"支柱管接夳�/td>	126.6mm(4.99)	38.9mm(1.53")	134.5mm(5.29")

订购须知

InVue GV148液体浓度监测器：配件叶�/span>

配件编号	描述
GV1CBLH04	19针螺旋接头，�?.0米（13.12英寸）聚氯乙烯护套电缅�/td>
GV1USBCVT	USB�?线串行转换器