SemiChem单槽壁挂弎�/span>在线浓度监测�?/span>

SemiChem单槽壁挂弎�/strong>在线浓度监测�?/strong>为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控，可以提高效率、保证晶圆制造的一致性，以满足更高的良率咋�/span>容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中，如枛�/span>不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性，晶圆的制造成本将大大提高�

我们皃�/span>SemiChem单槽壁挂弎�/strong>在线浓度监测�?/strong>允许定量化学浓度。全�?/span>线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性�

监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正�

产品选项

�多个样本�

�额外皃�/span>5 mL数字滴定�

�附加传感�

�安全联锁装置

�试剂低液位检�

优势

�增加工具产量

�降低化学品成�

�实时过程监控

�降低批量损失

�降低所有者成�?/span>

应用

�铜化学机械抛�

�钨化学机械抛�

�湿法蚀�

�清洁

�DSP+

�氮化物蚀�

�PAN蚀�

�食人鱼蚀�

�HF

产品特点

�4�?-20 mA 模拟输出

�8个可编程继电�

�以太网和 RS232 串口

�彩色触摸屎�/span>

�集成试剂储存

�单采样点

�1�?mL数显滴定�

�多个传感器输�?/span>

规格

分析方法	电位�?标准加入�?光度泔�/span>
精确�?/span>1	±0.2%显示倻�/span>
误差�?/span>1	0.2%相对误差
测量时间	少于5分钟/分析(取决于应�?
校准频率	自开始起2
样品消耗量	小于5 mL/欠�/span>
样品野�/span>	0.05�5 mL（取决于应用（�/span>
样品温度	低于93�?200�?
耗水野�/span>	少于1000mL/欠�/span>
样品入口/返回	小于30 psi
	0.5�?分钟
	1/4“�/span>外径扩口接头
	1“�/span>FPT密封联轴�?/span>
去离子水	20-40 psi
	2�?分钟
	1/4“�/span>外径扩口接头
CDA	60-80 psi
	1/4“�/span>外径快速接夳�/span>
过程排放	3/4“�/span>NPT重力排放
机箱排水	1/2“�/span>NPT重力排放
电源	110 /220 VAC＋�/span>50 /60 Hz＋�/span>1 /0.5A现场可切捡�/span>
排水	17/8� OD @ 17 CFM
外形尺寸	39.00“�/span>H x 27.00“�/span>W x 16.00“�/span>D

¹仅指“硬件”。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度�

²这不包括pH传感器的校准。有关详细信息，请参阅安装和操作手册、�/span>Entegris相信此处包含的数据是真实的，所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法，这些数据不应被视为Entegris承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用郼�/span>必须由用户决定，以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改，恕不另行通知、�/span>

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