ä¸å›½ç²‰ä½“网讯è‡?0世纪80年代开始,电å元器件ä¸ç”µè·¯çš„集æˆç¨‹åº¦ä»¥æ¯å¹´1.5å€ç”šè‡³æ›´å¿«çš„速度进行增长。集æˆç”µè·¯çš„集æˆç¨‹åº¦è¶Šæ¥è¶Šé«˜ä½¿ç”µæµè¶Šæ¥è¶Šé«˜ï¼Œåœ¨å·¥ä½œä¸äº§ç”Ÿçš„çƒé‡è¶Šæ¥è¶Šå¤§ã€üspan style="color: rgb(192, 0, 0);">如果散çƒä¸åŠæ—¶ï¼Œå°±ä¼šé€ æˆç”µåå…ƒå™¨ä»¶çš„çƒæŸåå¹¶é™ä½Žä½¿ç”¨å¯¿å‘½ã€ü/strong>
所以,为了满足日益增长的电å元器件散çƒè¦æ±‚ï¼Œå…·æœ‰é«˜å¯¼çƒæ€§èƒ½çš„电åå°è£…ææ–™è¢«ä¸æ–åœ°ç ”ç©¶å’Œä¼˜åŒ–ã€ü/p>
金刚çŸ?铜å¤åˆææ–™ï¼Œå›¾ç‰‡æ¥æºï¼šå…ƒç´ å…
01.金刚石与铛ü/strong>
ä¼ ç»Ÿçš„ç”µåå°è£…ææ–™ä¸»è¦æœ‰é™¶ç“·ã€å¡‘æ–™ã€é‡‘属åŠå…¶åˆé‡‘。BeOã€AlNç‰é™¶ç“·ææ–™å…·æœ‰å’ŒåŠå¯¼ä½“元器件相匹é…的低çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°ï¼ŒåŒ–å¦ç¨³å®šæ€§å¥½ï¼Œçƒå¯¼çŽ‡è¾ƒé«˜ï¼‹üspan style="color: rgb(192, 0, 0);">ä½†å…¶åˆ¶å¤‡å·¥è‰ºå¤æ‚ï¼ŒåŠ å·¥è¾ƒå›°éš¾ï¼Œå°¤å…¶æ˜¯BeOæœ‰å‰§æ¯’ä¸”æˆæœ¬é«—ü/strong>。塑料å°è£…ææ–™å…·æœ‰æˆæœ¬ä½Žã€è´¨é‡è½»ã€ç»ç¼˜æ€§å¥½ç‰ä¼˜ç‚¹ï¼Œä½†å¡‘æ–™å°è£…ææ–™çƒå¯¼çŽ‡å·®ï¼Œè€é«˜æ¸©æ€§å·®ï¼Œç”µæ€§èƒ½ä¸ŽåŠå¯¼ä½“çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°åŒ¹é…一èˆ?/strong>。å•一的Cuã€Agã€Alç‰é‡‘属具有较高的çƒå¯¼çŽ‡ï¼Œä½†çƒè†¨èƒ€çŽ‡è¿‡é«—ü/strong>。Cu-W,Cu-Moç‰åˆé‡‘ææ–™çƒå¯¼çއåˆè¾ƒä½Žã€‚å› æ¤ï¼Œä¸ºä¿éšœç”µå元器件的æ£å¸¸ä½¿ç”¨ä»¥åŠå»¶é•¿ä½¿ç”¨å¯¿å‘½ï¼Œè¿«åˆ‡éœ€è¦ç ”制çƒå¯¼çŽ‡é«˜ä¸”çƒè†¨èƒ€çŽ‡é€‚å®œçš„æ–°åž‹å°è£…ææ–™ã€ü/p>
å„ç§å¢žå¼ºä½“æ€§èƒ½æŒ‡æ ‡
金刚矲ü/strong>是目å‰å·²çŸ¥çš„在自然界ä¸å˜åœ¨çš„æœ€åšç¡¬çš„物质,莫æ°ç¡¬åº¦è¾¾åˆ°10ï¼ŒåŒæ—¶ä¹Ÿæ˜¯è‡ªç„¶ç•Œä¸å¯¼çƒç³»æ•°æœ€é«˜çš„物质之一,导çƒç³»æ•?/span>高达200ï½?200W/(m·K)ã€ü/strong>
é‡‘åˆšçŸ³å¾®ç²‰ï¼Œæ¥æºï¼šå…ƒç´ å…
é“›ü/strong>的导çƒã€å¯¼ç”µã€å»¶å±•性都较好+üspan style="color: rgb(192, 0, 0);">çƒå¯¼çŽ‡ä¸º401W/(m·K),远高于é“ã€é’¼ç‰é‡‘å±žï¼Œå¹¶ä¸”ä»·æ ¼ä½Žå»‰ï¼Œè¢«å¹¿æ³›åº”ç”¨äºŽé›†æˆç”µè·¯é¢†åŸŸã€ü/p>
综åˆé‡‘åˆšçŸ³å’Œé“œçš„å¯¼çƒæ€§èƒ½ï¼Œä»¥é“œä¸ºåŸºä½“ã€é‡‘刚石为增强体皃üspan style="color: rgb(192, 0, 0);">金刚çŸ?铜å¤åˆææ–˜ü/strong>被很多人认为æ˜?span style="color: rgb(192, 0, 0);">未æ¥ä¸»æµçš„高导çƒç”µåå°è£…ææ–™ã€ü/p>
02.制备方法有讲穵ü/strong>
金刚çŸ?铜常用的制备方法有:粉末冶金法ã€é«˜æ¸©é«˜åŽ‹æ³•ã€ç†”ä½“æµ¸æ¸—æ³•ã€æ”¾ç”µç‰ç¦»å烧结法ã€å†·å–·æ¶‚法ç‰ã€ü/p>
å•粒径金刚石/铜å¤åˆææ–™ä¸åŒåˆ¶å¤‡æ–¹æ³•工艺与性能对比
�)粉末冶金法
è¯¥å·¥è‰ºåŸºæœ¬åŽŸç†æ˜¯å°†é‡‘刚石颗粒和Cu基粉末按照预备的å«é‡å‡åŒ€æ··åˆï¼Œåœ¨æ··åˆçš„过程ä¸å¯æŽºæ‚一定å«é‡çš„粘结剂和æˆå½¢å‰‚,将混åˆç²‰ä½“åŠæŽºæ‚剂压制æˆåž‹ä¹‹åŽï¼Œé€šè¿‡çƒ§ç»“最终得到高导çƒé‡‘刚çŸ?Cuå¤åˆææ–™ã€ü/p>
烧结设备
粉末冶金法工艺简å•ï¼Œæˆæœ¬è¾ƒä½Žï¼Œæ˜¯ä¸€ç§è¾ƒæˆç†Ÿçš„烧结工艺。但该方法所得的粉体致密度ä¸é«˜ã€å†…部组织ä¸å‡ï¼Œä¸”åˆ¶å¾—æ ·å“尺寸有é™ã€å½¢çŠ¶ç®€å•,难以直接制得çƒå¦æ€§èƒ½ä¼˜å¼‚çš„çƒå¯¼ææ–™ã€ü/p>
�)高温高压法
高温高压法主è¦ä¾é å…é¢é¡¶åŽ‹æœºæä¾›çš„高温高压对金刚石和铜进行烧结。所æä¾›çš„高温达到了铜的熔点,使得铜æˆä¸ºç†”èžçжæ€ï¼Œå¦å¤–ç”±äºŽé‡‘åˆšçŸ³çš„ç½‘æ ¼ç»“æž„ï¼Œåœ¨é«˜æ¸©é«˜åŽ‹çš„ä½œç”¨ä¸‹ï¼Œç†”èžé“œå……åˆ†å¡«å……åˆ°é‡‘åˆšçŸ³ç½‘æ ¼ç»“æž„å‘¨å›´ï¼Œå½¢æˆäº†ç»“åˆç´§å¯†çš„å¤åˆææ–™ã€ü/p>
å…é¢é¡¶åŽ‹æœ¹ü/p>
虽然高温高压法制备的å¤åˆææ–™è‡´å¯†åº¦å¾ˆé«˜ï¼Œå¯¼çƒæ€§èƒ½å¥½ï¼Œä½†æ˜¯å®ƒå¯¹æ¨¡å…·çš„è¦æ±‚很高,且难以制备尺寸较大的产å“ï¼Œæˆæœ¬è¾ƒé«˜ï¼Œå¾ˆéš¾åœ¨å·¥ä¸šä¸Šå¹¿æ³›åº”用ã€ü/p>
�)熔体浸渗法
ç†”ä½“æµ¸æ¸—é¡¾åæ€ä¹‰æ˜¯å°†ç†”èžæ€çš„金属基体渗入增强体ä¸å³é‡‘刚石颗粒的间隙ä¸ï¼Œç„¶åŽå†·å´å‡å›ºåˆ¶å¤‡å¤åˆææ–™ã€‚ç†”ä½“æµ¸æ¸—æ³•åˆ†ä¸ºåŽ‹åŠ›ã€æ— 压浸æ¸?ç§ã€‚åŽ‹åŠ›ã€æ— 压浸渗å‡é€šè¿‡é«˜æ¸©ä½¿å›ºæ€çš„é“œè¾¾åˆ°ç†”ç‚¹ç†”åŒ–ã€‚åŽ‹åŠ›æµ¸æ¸—é€šè¿‡æ–½åŠ å¤–æ¥çš„压力使熔化的铜浸入金刚石的间隙ä¸ï¼Œæ— 压浸渗则是ä¾é 金刚石颗粒自身的毛细现象驱动熔èžé“œæ¸—å…¥ã€‚ç”¨è¿™ç§æ–¹æ³•制æˆçš„å¤åˆææ–™çƒå¯¼çއå‡åœ¨446W/(m·K)以上ã€ü/p>
ï¼?)放电ç‰ç¦»å烧结泔ü/strong>
放电ç‰ç¦»å烧结法(SPS)是将金刚石和铜的混åˆç²‰æœ«è£…入石墨模具ä¸ï¼Œåˆ©ç”¨è„‰å†²ç”µæµäº§ç”Ÿç«èŠ±æ”¾ç”µæ¸©åº¦å¯¹ç²‰æœ«è¿›è¡Œå‡åŒ€åŠ çƒï¼ŒåŒæ—¶åœ¨åŠ çƒè¿‡ç¨‹ä¸æ–½åŠ ä¸€å®šçš„åŽ‹åŠ›ï¼Œå®žçŽ°å¿«é€Ÿçƒ§ç»“å®Œæˆå¤åˆææ–™ã€‚å®ƒæ˜¯ä¸€ç§æ–°åž‹ã€å¿«é€Ÿã€é«˜æ•ˆçš„制备方法ã€ü/p>
放电ç‰ç¦»å烧结系统示æ„图
放电ç‰ç¦»åçƒ§ç»“æ³•æ•ˆçŽ‡å¾ˆé«˜ï¼Œä½†è¯¥æ³•å¯¹é‡‘åˆšçŸ³ä½“ç§¯åˆ†æ•°è¦æ±‚较高,当金刚石体积分数高äº?5%时,烧结制备的å¤åˆææ–™æ€§èƒ½å¤§å¹…下é™ã€ü/p>
ï¼?)冷喷涂泔ü/strong>
å†·å–·æ¶‚æ²‰ç§¯æ³•æ˜¯é€šè¿‡æŠŠä¸¤ç§æ··å¥½çš„粉末放入到炉膛ä¸ï¼Œç»è¿‡é‡‘属熔èžã€æ¶²æ€é‡‘属雾化过程åŽå–·å°„沉积在基体æ¿ä¸Šå¾—到å¤åˆææ–™ã€ü/p>
ç›®å‰é‡‡ç”¨å†·å–·å°„沉积技术æ¥åˆ¶å¤‡é‡‘刚石å¤åˆææ–™çš„æ–‡çŒ®ä¸å¤šï¼Œä¸»è¦å—设备é™åˆ¶ï¼Œå› æ¤è¿˜æœ‰è®¸å¤šé—®é¢˜æœ‰å¾…解决,如采用喷射沉积法制备出æ¥çš„金刚石å¤åˆææ–™ï¼Œå…¶è¡¨é¢å¹³æ•´åº¦æ˜¯å¦å¯æŽ§ï¼Œå…¶çƒå¯¼çŽ‡èƒ½å¦æ»¡è¶³ç”µåå°è£…è¦æ±‚ç‰ã€ü/p>
03.é‡è¦çš„事情说三éï¼šæ”¹æ€§ï¼æ”¹æ€§ï¼æ”¹æ€§ï¼
对å¤åˆææ–™çš„制备而言,组元之间相互浸润是进行å¤åˆçš„å¿…è¦å…ˆè¡Œæ¡ä»¶ï¼Œæ˜¯å½±å“界é¢ç»“æž„åŠç•Œé¢ç»“åˆçжæ€çš„é‡è¦å› ç´ ã€üspan style="color: rgb(192, 0, 0);">金刚石和Cu的界é¢äº’䏿¶¦æ¹¿çŠ¶å†µå¯¼è‡´ç•Œé¢çƒé˜»å¾ˆé«—ü/strong>ã€‚å› æ¤ï¼Œé€šè¿‡å„ç§æŠ€æœ¯æ‰‹æ®µå¯¹ä¸¤è€…çš„ç•Œé¢è¿›è¡Œæ”¹æ€§ç ”ç©¶å分关键。目å‰ï¼Œä¸»è¦æœ‰ä¸¤ç§æ–¹æ³•改善金刚石与Cu基之间的界é¢é—®é¢˜ï¼™üspan style="color: rgb(192, 0, 0);">ï¼?ï¼‰é‡‘åˆšçŸ³è¡¨é¢æ”¹æ€§å¤„ç†ï¼›ï¼?)铜基体的åˆé‡‘化处ç†ã€ü/strong>
改性示æ„图ï¼?a)金刚石表é¢ç›´æŽ¥é•€è¦†ï¼›(b)基体åˆé‡‘匕ü/p>
ï¼?ï¼‰é‡‘åˆšçŸ³è¡¨é¢æ”¹æ€?/strong>
在增强相表层镀Moã€Tiã€Wã€Crç‰æ´»æ€§å…ƒç´ 坿”¹å–„金刚石界é¢ç‰¹æ€§ï¼Œä»Žè€Œæé«˜å…¶çƒä¼ 导性能。通过烧结å¯ä½¿ä»¥ä¸Šå…ƒç´ 与金刚石粉体表层的碳å应形æˆç¢³åŒ–ç‰©è¿‡æ¸¡å±‚ï¼Œè¿™æ ·ä¼˜åŒ–äº†é‡‘åˆšçŸ³ä¸Žé‡‘å±žåŸºä¹‹é—´çš„æ¶¦æ¹¿çŠ¶æ€ï¼Œå¹¶ä¸”镀层在高温下å¯é˜²æ¢é‡‘刚石结构å‘生改å˜ã€ü/p>
ï¼?)铜基体åˆé‡‘匕ü/strong>
åœ¨ææ–™çš„å¤åˆåР工之å‰ï¼Œå¯¹é‡‘属铜进行预åˆé‡‘化处ç†ï¼Œè¿™æ ·å¯åˆ¶å¾—çƒå¯¼çŽ‡æ™®é较高的å¤åˆææ–™ã€‚åœ¨é“œåŸºä½“ä¸æŽºæ‚æ´»æ€§å…ƒç´ ä¸ä»…坿œ‰æ•ˆé™ä½Žé‡‘刚石与铜之间的润湿角,还能在å应åŽäºŽé‡‘刚石/Cu界é¢é—´ç”Ÿæˆå¯å›ºæº¶äºŽé“œåŸºçš„ç¢³åŒ–ç‰©å±‚ï¼Œè¿™æ ·ææ–™ç•Œé¢é—´å˜åœ¨çš„多数间隙得到修饰填充,从而æé«˜äº†å¯¼çƒæ€§èƒ½ã€ü/p>
å°ç»“
éšç€ç¤¾ä¼šçš„å‘展和进æ¥ï¼Œç”µå芯片产生的çƒé‡æ—¥ç›Šå¢žåŠ ï¼Œä¼ ç»Ÿå°è£…ææ–™ç”±äºŽä½Žçƒå¯¼çŽ‡æˆ–é«˜çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°çš„åŽŸå› ï¼Œå·²ç»å¾ˆé𾿻¡è¶³ä½¿ç”¨è¦æ±‚。而金刚石颗粒增强铜基å¤åˆææ–™å…·æœ‰é«˜å¯¼çƒæ€§å’Œå¯è°ƒæŽ§çš„çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°ç‰ä¼˜ç‚¹ï¼Œè¢«è®¤ä¸ºæ˜¯å…·æœ‰å‘展剿™¯çš„电åå°è£…ææ–™ä¹‹ä¸€ã€ü/p>
å‚è€ƒæ¥æºï¼š
[1]å´æ–°å¿?金刚石表é¢å¤„ç†å¯¹é‡‘刚çŸ?铜å¤åˆææ–™å¯¼çƒæ€§èƒ½çš„影哌ü/p>
[2]å«é™ˆé¾?金刚石表é¢é‡‘属化åŠé‡‘刚石/铜å¤åˆææ–™å¾®æ³¢çƒ§ç»“å·¥è‰ºç ”ç©µü/p>
[3]陈å«ç?金刚çŸ?铜å¤åˆææ–™çš„制备方法åŠåº”用现犵ü/p>
[4]å½å“豪ç‰.高导çƒé‡‘刚石/Cuå¤åˆææ–™ç ”究进展
[5]å¾è–‡ç?电åå°è£…用高导çƒé‡‘刚çŸ?铜å¤åˆææ–™çš„ç ”ç©¶è¿›å±•
[6]å™é¾™.金刚çŸ?铜å¤åˆææ–™çš„制备åŠå…¶æ€§èƒ½ç ”ç©¶
(ä¸å›½ç²‰ä½“网/å±±å·ï¼ˆü/p>
注:图片éžå•†ä¸šç”¨é€”,å˜åœ¨ä¾µæƒå‘ŠçŸ¥åˆ 除