海德堡Heidelberg 高级大型2D�?D直写光刻朹�strong>DWL 8000

大面积瞄写系统：DWL 8000

搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中，也可以瞄�?维和3维图形的DWL 8000系列，是针对微光学领域的2维和3维的微构造形式所制作、�/span>

对于激光图形生成器，MEMS，Displays 和sensors 都有加宽，加高的设计。DWL 8000精确的温度控制，动态的焦点追踪，closed loop位置决定，确�?*布置和完全覆盖性的直写范围、�/span>

DWL 8000多年的经验累积，使Gray Scale曝光技术，可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术掩模板上，使用曝光强度经过调整的激光，可在连续表面上形�?个复杂的3维样式、�/span>

主要功能９�/strong>

�?小描绘尺寸：0.7um

�?小直写尺寸：20nm

�?种描绘模弎�/span>

。可转换成自动描绘模弎�/span>

。进�?维绘画方弎�/span>

。里�?校直用照相机系统

。选择线上（Online）传送绘画数�?/span>

。自动基板加载系绞�/span>

。多种多样的绘画数据输入格式（DXF，CIF，GDSLL，Gerber，STL（�/span>

。Stage Map补正

。Edge detectof unit

应用范围９�/strong>

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor