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Heidelberg海德堡光刻机MLA100
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德国
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德国海德堡Heidelberg激光直写光刻机MLA100

适合用科研领域的中小型实验室与大学研究所

支持套刻直写功能

MLA100聚焦于合理价格下依然维持高性能，是许多研发应用的理想光刻解决方案。该光学系统设计为以50mm2/min的速度在光刻胶中直写出1m结构，而无需使用掩膜板。从光刻工艺中免除掩膜板步骤制程以增加灵活性并显着缩短图形制作周期。MLA100由曝光指引系?GUI)控制，该系统可指导操作员完成整个过程：加载基材信息，选择设计并开始曝光。面积为60x75cm2的MLA100设计用于安装在中小型的研发实验室中，只需要电源和压缩空气即可运行、/span>

MLA100的应用包括Life Science MEMS Micro-Optics Semiconductor Sensors Actuators MOEMS Material Research Nano-Tubes Graphene以及任何其他需要微结构的应用、/span>

功能:

刻写速度:50 mm2/分钟的速度

基板尺寸:6 x 6“/span>

曝露面积:100 x 100毫米

结构精度:1m

大功率LED光源

基于SLM光引操/span>

多种数据输入格式

基本灰度曝光模式

对准摄像系统

实时自动对焦

User-optimized接触向导

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