德国Raith新一代超高分辨电子束光刻机Voyager

高速且价格合理的电子束光刻机实现精确的曝光效果

对于工业界和学术界所有关注速度和高分辨的电子束曝光应用，我们推荐您选择VOYAGERTM这款专业电子束光刻系统、�/p>

Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构、�/span>

系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作，先进的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致、�/span>

系统可实�?英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标，可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩，即使在稍差的实验室环境下，仍然能确保系统具有非常好的热稳定性，提高系统对外界环境的容忍度、�/span>

超高分辨率曝光系绞�/span>

00001.�?初设计到样品制备完成，实现高速样品加工，提高产量

00002.智能设计：设备占地面积小，且集成环境屏蔽�?/span>

00003.创新的、未来安全型系统架构

00004.专业的电子束曝光系统，可实现每小旵�/span>1cm2的高速曝光，高性价毓�/span>

eWrite技�?/span>

Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计，该技术适用于研发及批量生产的所有工作、�/span>

VOYAGER 应用

��HSQ胶上制作亙�/span>7nm线条

��SU8胶上制作1x1 cm2菲涅尔透镜，曝光时间为53分钟，图为菲涅尔透镜中心区域

��PMMA双层胶上制作150nm T型栅结构

��ZEP520胶上制作1x1 cm2光栅结构，曝光时间小亍�/span>2小时

��高速度模式＇�/span>40nA束电流下曝光160um大结构）和高分辨模式＇�/span>0.4nA束电流下曝光10nm细小结构）自动切捡�/span>

��ZEP520胶上制作光子晶体波导结构

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