瑞士Swisslitho 3D纳米高速直写机NanoFrazor_报价-深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机

源自IBM**研发成果

NanoFrazor纳米3D结构直写机的问世，源于发昍�/span>STM咋�/span>AFM皃�/span>IBM苏黎世研发中心，是其在纳米加工技术的**研究成果、�/span>NanoFrazor纳米3D结构直写�?*次将纳米尺度下的3D结构直写工艺快速化、稳定化、�/span>

NanoFrazor采用尖端直径丹�/span>5nm的探针，通过静电力精确控制实现直冘�/span>3D高精度直写，并通过悬臂一侧的热传感器实现实时的形貌探测。相对于其他制备技术如电子束曝先�/span>/光刻技�?/span>(EBL)�聚焦离子束刻蚀(FIB)有以下特点：

� 3D纳米直写能力

高直写精� (XY: 10nm� Z: 1nm)

高速直� 20 mm/s 与EBL媲美

� 无需显影，实时观察直写效枛�/span>

形貌感知灵敏�?.1nm

样品无需标记识别＋�/span>多结构套刻，对准精度 5nm

� 无临近效库�/span>

高分辨，高密度纳米结枃�/span>

� 无电�?离子损伤

高性能二维材料器件

� 区域热加工和化学反应

多元化纳米结构改�?/span>

� 大样品台

100mm X 100mm

新产品发布：NEW！！

NanoFrazor Scholar --小面积直冘�/strong>

�3D纳米直写能力高直写精� (XY: 30nm� Z: 1nm)

高速直� 10 mm/s

� 无需显影，实时观察直写效枛�/span>

形貌感知灵敏�?.1nm

样品无需标记识别＋�/span>多结构套刻，对准精度 10 nm

� 无临近效库�/span>

高分辨，高密度纳米结枃�/span>

� 无电�?离子损伤

高性能二维材料器件

� 区域热加工和化学反应

多元化纳米结构改�?/span>

� 小样品台

30mm X 30mm

该技术自问世以来已经多次刷新了世界上*導�/span>3D立体结构的尺寸，创造了世界�?小的马特洪峰模型�?小立体世界地图，*小刊物封面等世界记录、�/span>

独特的直写与反馈流程

PPA(聚苯二醛)直写胵�/span>涂敷在样品表面、�/span>

背热式直写探钇�/span>＋�/span>微区电阻式加热针尕�/span>。与针尖接近皃�/span>PPA受热瞬间分解，周围部分由亍�/span>PPA热导率低而不受影响、�/span>

热针震动模式直写＋�/span>直写时探针加热，每次下针幅度受静电力控制，垂直精�?/span>1 nm，从而写凹�/span>3D图形、�/span>

冷针接触模式扫描＋�/span>回程扫描时探针冷却，由侧壁的热感应器探测样品高度变化(精度0.1nm)� 获得样品形貌。反馈数据修正下一行直写、�/span>

独有的直写针尖设讠�/strong>

普通的AFM针尖无法满足上述NanoFrazor直写流程的需求，因此NanoFrazor所用针尖是由IBM专门研发设计的。该针尖具有两个电阻加热区域，针尖上方的加热区域可以加热�?span>1000^oC、�/span>第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处，其能感知针尖与样品距离的变化，精度高达0.1 nm。因此在每行直写进程结束后的回扫结构时，并不是通过针尖起伏反馈形貌信息，而是通过热导率传感器感应形貌变化，从而实现了比AFM�?000余倍的扫描速度，同避免了针尖的快速磨损消耗、�/span>

NanoFrazor技术特炸�/span>

其他功能

� 纳米颗粒有序定位排列

� 纳米局部化学反应诱寻�/span>

� 表面化学图案、结构生戏�/span>

纳米颗粒有序定位排列

应用领域
	^{快速原型设计开叐�/span>} ^{� 衍射透镜，全息图} ^{� 非球面微透镜阵列} ^{� 波导纤维、光子晶�} ^{� MEMS/NEMS} ^{� 表面等离子激元，超材�} ^{� 纳米磁学} ^{� 纳米电子器件} ^{� 生物细胞研究} ^{� 纳米流体控制} ^{� 反物质物理学}	^微纳结构 ^�^防伪标识 ^�^DFB^{激光�?/span>} ^�^A^SICs^{的关键部位加�?/span>} ^模板加工 ^�^光掩模板 ^�^{纳米压印印章} ^�^{注射成型模具}

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司官方展台田�a href="//www.znpla.com/lxyee/">中国粉体罐�/a>设计制作，工商信息已核实、�br /> 公司地址：深圳市宝安区沙井街道共和社区共和第四工业区A4栋A6单元761-764
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