小型台式无掩膜光刻系统是英国Durham Magneto Optics公司专为实验室设计开发，为微流控�?/span>SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案、�/span>

传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩膜板需要由专业供应商提供，但是在研发环境中，掩膜板的设计通常需要经常改变。无掩膜光刻技术通过以软件设计电子掩膜板 的方法，克服了这一问题。与通过物理掩膜板进行光照的传统工艺不同，激光直写是通过电脑控制一系列激光脉冲的开关，在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案、�/span>

Microwriter ML 3是一款多功能激光直写光刻系统，具有结构小巧紧凑(70cm X 70cm X 70cm)，无掩膜直写系统的灵活性，还拥有高直写速度，高分辨率的特点。采用集成化设计，全自动控制，可靠性高，操作简便。适用于各种实验室桌面、�/span>

Focus Lock自动对焦功能

光学轮廓�?/span>

Microwriter ML3配备光学轮廓探测工具，用于匀胶后沉积层，蚀刻层＋�/span>MEMS等前道结构的形貌探测与套刻、�/span>Z�?*精度100 nm，方便快捶�/span>、�/span>

标记物自动识�?/span>

点击‛�/span>Bulls-Eye“�/span>按钮＋�/span>系统自动�?/span>显微镜图像中识别光刻标记。标�?/span>物被识别后，尅�/span>自动将其移动到显微镜中心位置、�/span>

简单的直写软件

MicroWriter 由一个简单直观的Windows界面软件控制。工具栏会引导使用者进行简单的布局设计、基片对准和曝光的基本操作。该软件在Windows10系统下运行、�/span>

Clewin掩模图形设计软件

直写分辨�?��m