日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS

�� JBX-8100FS 圆形电子束光刻系绞�/span>

�� **高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统，通过全方位的设计优化，实现更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能、�/span>

**高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统，通过全方位的设计优化，实现更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能、�/span>

节省空间

标准的设备占地面积为4.9m（W�?#215;3.7m（D�?#215;2.6m（H），比以往机型占用空间更小，外形更加紧凑美观、�/span>

低功耖�/strong>

正常工作时的功耗约�?kVA，仅需以往机型耗电量的1/3、�/span>

高产胼�/strong>

具备高分辨率和高速两种刻写模式，非常适用于超微细加工以及批量生产。该设备减少了刻写过程中的无谓耗时，并将扫描频率提升至业界***水准�?25MHz (以往机型�?.25�?.5�?，使其具备更高的生产能力、�/span>

机型

JBX-8100FS系列设有G1（基本版）和G2（全配版）两种机型。G1机型装机后也可进行升级，使其支持更高的应用需求、�/span>

新功胼�/strong>

安装光学显微镜（选配）后，在避免光刻胶感光的的同时可对材料上的图形进行确认。设备还配备了信号塔（标配），实现了视觉范围内的系统运行状况监控、�/span>

激光定位分辨率

采用分辨率为0.6nm的激光干涉仪，对样品台位置进行高精度的量测控制、�/span>

系统控制

配备了Linux?系统，图形用户界面使操作更加简单，便于初学者使用。数据准备程序支持Linux?和Windows?

主要技术指栆�/strong>