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日本Nikon I线步进式光刻机NSR-I12
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日本Nikon I线步进式光刻朹/span>NSR-I12

技术指标及功能

广泛应用于生产线，是6英寸?英寸等主力I线生产机台，适用于I线光刻胶的曝光，操作简单，曝光精度准，解析?*可达0.35UM ＇/span>350NM（/span>

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