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俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
准分子激光器 CL7000 俄罗 Optosystem
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位、/span>
CL7000系列技术参数：
型号 |
ArF |
KrF |
XeCl |
波长 |
193 nm |
248 nm |
308 nm |
管材斘/span> |
陶瓷 |
||
预电禺/span> |
火花 |
||
标准脉冲能量 |
250 mJ |
400 mJ |
300 mJ |
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100 |
5 W 10 W 20 W |
8 W 20 W 35 W |
6 W 15 W 25 W |
**重复频率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 |
20 Hz 50 Hz 100 Hz |
||
脉宽 |
17 ns |
20 ns |
20 ns |
脉冲稳定?/span> |
sigma < 2% |
||
光斑大小 |
6 x 20 mm |
6 x 21 mm |
7 x 22 mm |
光束发散觑/span> |
1.5 x 4.5 mrad |
||
时间抖动 |
< 2 ns |
||
尺寸 (重量) |
1350L x 375W x 710H ާ (170 kg) |
||
冷却 CL 7020 CL 7050 CL 7100 |
风冷 水冷（水? 1L/min（/p> 水冷（水? 3L/min（/span> |
||
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 |
220V / 50Hz 10 不超?500 VA 220V / 50Hz 10 不超 1800 VA 380/220V 50Hz 10 不超 3500 VA |
||
气体 |
1 premix cylinder |
||
控制接口 |
RS 232 DOS/Windows |
||
可选功能：
1 ?000Kz型号可逈/p>
2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
3 F2?57nm型号可逈/span>
特点９/strong>
1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
2、激光腔，电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模弎/p>
4、预混合供气，使用简協/p>
5、计算机控制
应用 ９/strong>
1、准分子激光脉冲沉积镀膛/p>
2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻冘/p>
3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻
准分子激光激光沉积镀膜（PLD）系统示意图
准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图
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