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Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher)
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英国Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher)

应用:从蚀刻晶圆片上移除光刻胶

流程配置:RIE/ICP

工作原理

。使用等离子体源，生成单原子反应种、/span>

。氧?常见的反应物质。反应性物质与光阻结合形成灰，

。用真空泵将其除去、/span>

。ICP结构避免了高能离子轰击和电容耦合＋/span>

。提供低衬底损伤、/span>

可用气体:O2 N2O

主要性能:

。开放式设计，可快速加载和卸载晶圆、/span>

。基片放置在石英上，以避免溅?再沉积电极材斘/span>

。通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室

。电感耦合等离子体(ICP)和电极的独立射频发生器提供对离子能量和离子密度的独立控制

。高电导泵浦端口提供高的气体吞吐量，?快的腐蚀速率

。使用等离子体源，生成单原子反应种。氧?常见的反应物质、/span>

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