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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品详情
N-TEC全自动晶圆清洗机BW 232FA
卖点
。SECS / GEM 功能
。全自动超音波洗净
。Barcode 读取
机台优势
。可置放两组 Cassette
。加热功胼/p>
。四面溢流与过滤循环功能
作业方式
**槼 药剂超音波槽、/p>
第二槼 药剂超音波槽、/p>
第三槼 纯水 QDR 槽、/p>
第四槼 纯水 QDR 槽、/p>
第五槼 纯水 QDR 槽、/p>
第六槼 真空干燥槽、/span>
设备规格
设备尺寸 |
4330 mm 2120 mm 2980 mm ( ?#215;?#215; ) |
设备重量 |
3500 kg |
电源ＡＣ |
415V (50/60 Hz) 3 phase 5 wire Volt.(V) 240V (50/60 Hz) (RSTNG) Volt.(V) |
空气溏/strong> |
压缩干燥空气 6~8 Kgf/cm2 |
N2 |
General Nitrogen 2 m3/min |
设备应用范围
晶圆尺寸 |
6 晶圆 |
晶粒尺寸 |
‒/span> |
雷切深度 |
‒/span> |
胶环尺寸 |
‒/span> |
膜料尺寸 |
‒/span> |
机台特?/strong>
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