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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品详情
芬兰PICOSUN高级原子沉积朹strong>P-300B Advanced ALD
技术参?/strong>
。基片尺寸和类型 300mm晶圆10?批次（标准间距）
?00mm晶圆25+2?批次（标准间距）
工艺温度?0 - 500 C
基片传送选件：、/strong>气动升降（手动加载）
。半自动装载，用线性装载器实现
?2片晶圆盒式全自动装载，用真空批量Load lock实现
前驱体：。液态，固态，气态，臭氧溏/p>
。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
?根独立源管线?多加?个前驱体溏/span>
重量 ９/strong>400 + 300 kg
尺寸９/strong>(W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm
选件 ９/strong>PICOFLOW? 扩散增强，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务、/span>
验收标准 ９/strong>标准设备验收标准 Al2O3 工艺
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