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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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美国SONIX 晶圆检测设 AutoWafe Pro.
SONIX AutoWafer Pro? 是专为全自动晶圆检测设计的机型，主要应用在Bond wafer，MEMS 内部空洞、离层检测，TSV量测方面、/p>
使用?00?00mm晶圆
符合一级净化间标准
Cassette装载，全自动检测，支持FOUP或FOSB机械臁/p>
支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
KLARF输出文件
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