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日本JEOL场发射电子显微镜JEM-3200FS
JEM-3200FS场发射电子显微镜配备?*加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置?#937;型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案、/span>
产品规格９/strong>
物镜极靴*1 |
超高分辨UHR |
高分辨率HR |
高倾斜HT |
高衬度HC |
分辨玆/span> |
||||
点分辨率 晶格分辨玆/span> |
0.17nm 0.1nm |
0.19nm 0.1nm |
0.21nm 0.1nm |
0.26nm 0.14nm |
能量分辨玆/span> |
0.9 eV（零损失FWHM（/span> |
|||
加速电厊/span> |
300kV?00kV?00kV*2 |
|||
*小步镾/p> 能量位移 |
100V **3?00V (?.2V为步? |
|||
电子?/span> |
||||
发射佒/span> |
ZrO/W(100) 肖特基式 |
|||
亮度 |
?108A/cm2? sr |
|||
真空?/span> |
310-8Pa |
|||
探针电流 |
探针直径?nm时，电流?.5nA以上 |
|||
稳定?/span> |
||||
加速电厊/span> |
210-6/min |
|||
物镜电流 |
110-6/min |
|||
过滤器透镜电流 |
110-6/min |
|||
物镜 |
||||
焦距 |
2.7 mm |
3.0 mm |
3.5 mm |
3.9 mm |
球差系数 |
0.6 mm |
1.1 mm |
1.4 mm |
3.2 mm |
色差系数 |
1.5 mm |
1.8 mm |
2.2 mm |
3.0 mm |
*小焦距步镾/span> |
1.0 nm |
1.4 nm |
1.5 nm |
4.1 nm |
束斑尺寸 |
||||
TEM 模式 |
2 5 nm |
2 5 nm |
7 30 nm |
|
EDS 模式 |
0.4 1.6 nm |
0.5 2.4 nm |
4 20 nm |
|
NBD 模式 |
0.4 1.6 nm |
0.5 2.4 nm |
- |
|
CBD 模式 |
0.4 1.6 nm |
0.5 2.4 nm |
- |
|
电子束衍尃/span> |
||||
衍射?2) |
1.5 t 20 mrad |
- |
||
取出觑/span> |
10 |
- |
||
倍率 |
||||
MAG 模式 |
2?00 1?00?00 |
2?00 1?00?00 |
1?00 1?00?00 |
|
LOW MAG 模式 |
100 3?00 |
|||
SA MAG 模式 |
8?00 600?00 |
6?00 500?00 |
5?00 500?00 |
|
视野 |
10eV时狭缝宽?0mm(底片? 2eV时狭缝宽?5mm(底片? |
|||
相机长度 |
||||
选区电子衍射 |
200 2?00 mm |
250 2?00 mm |
400 3?00 mm |
|
EELS 散射 |
||||
能量选择 在能量选择狭缝三/span> |
0.85 m/eV 300 kV |
|||
底片三/span> |
100 220 m/eV 300kV |
|||
样品宣/span> |
||||
样品移动范围 (XY/Z) |
2mm/0.2mm |
2mm/0.4mm |
2mm/0.4mm |
2mm/0.4mm |
样品倾斜 (X/Y) |
25/25*3 |
35/30*3 |
42/30*3 |
38/30*3 |
EDS*4 |
||||
固体觑/span> |
0.13 sr |
0.09 sr |
||
取出觑/span> |
25 |
20 |
||
产品特点９/strong>
JEM-3200FS场发射电子显微镜配备?*加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置?#937;型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案、/span>
镜筒内置?#937;型能量过滤器(omega 过滤?
镜筒内置?#937;型能量过滤器内置于成像透镜系统，能容易地获得能量过滤像和能量损失谱，同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外?#937;型过滤器的电子光学系统在设计?*程度地减少了图像畸变，出厂前还将剩余一点的畸变做了*后的修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统（选配件），可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统、/span>
新型控制系统
电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化，实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面 采用Windows ?*1，可以进行编程操作和附件的集中控制、/span>
新型测角?/strong>
系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构，使高倍率下的样品移动更加精确?2.
*1 : 注意事项：Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标、/p>
*2 : 仅有压电元件包括在基本单元中，压电元件的电源为选配件、/span>
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