IB-09060CIS

离子加速电厊�/span>

1 � 8kV

倾斜觑�/span>

**��6o(0.1o/�?

离子束直徃�/span>

500��m(FWHM)

研磨速率

5��m/min(加速电厊�8kV、Si换算)

使用气体

氩气

**样品尺寸

2.8mm(长度)��1.0 mm(宽度)��0.1mm(厚度)

样品冷却

样品架冷却温�?/span>

-120ℂ�/span>

冷却到达时间

1小时

冷却保持时间

8小时

样品取出时间

30分钟

压力测试

潘宁觃�/span>

主抽真空系统

涡轮分子泴�/span>

CCD相机

内置

尺寸 重量

主机

500mm(W)��600mm(D)��542mm(H)�?0kg

机械泴�/span>

150mm(W)��427mm(D)��230.5mm(H)�?6kg

液晶显示�?/span>

326mm(W)��173mm(D)��380mm(H)�?.7kg

IB-09060CIS

电源

单相100 � 120V��10%�?0/60Hz�?.5 � 0.6kVA

接地纾�/span>

独立地线(100��以下)

氩气

使用压力: 0.15��0.05MPa(1.0 � 2.0kg/cm2)

纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备)

金属配管连接叢�JISB0203 RC1/8

室温

20 � 25ℂ�/span>

湿度

60% 以下