离子加速电厊�/span>

2 � 8 kV

离子束直徃�/span>

500 um( FWHM)

研磨速率

500 um（两小时的平均值�? kV、硅材质换算、突出量:100 um（�/span>

样品架冷却达到的温度

-120 ℂ�/span>

样品冷却持续时间

8小时以上

制冷箱容野�/span>

�?卆�/span>

承载样品�?*尺寸

11mm(�? �� 8mm（宽�?#215; 3mm（厚（�/span>

样品台移动范図�/span>

X轴：��6mm、Y轴：��2.5mm

固定样品方法

夹式

样品加工摆角

��30��

加工观察用相机的倍率

�?0�?00倍（6.5寸显示器上）

机械泴� 150 mm（宽� �� 427 mm（长� �� 230 mm（高）、约16 kg

空气隔离系统

转移舰�/span>

空气隔离泔�/span>

将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里、�/span>

操作方法

触控屏�?.5寸显示器

使用气体

氩气(用质量流量控制器控制流量)

压力测试

潘宁真空讠�/span>

主抽真空系统

涡轮分子泴�/span>

辅助抽真空系绞�/span>

机械泴�/span>

尺寸、重野�/span>

主机：约670mm (�? �� 720mm(�? �� 530mm(�?、约73kg

机械泵：�?50 mm (�? �� 430 mm(�? �� 230 mm(�?、约16kg

选配仵�/span>

大型旋转样品架（IB�?1550LSRH)、（IB�?1550LSRH)　

基座样品� （IB�?1560MBSH)　

大型样品架（IB-11570LSH)　　

喷碳样品架（IB-12510CCH（�/span>

电源

单相100�?20 V��10%�?0/60 Hz�?.6 kVA

接地纾�/span>

独立地线(100 ��以下)

氩气

使用压力�?.15��0.05 MPa(1.0 � 2.0 kg/cm2)

纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备)

金属配管连接叢�JISB0203 RC1/4

室温

15�?5 ℂ�/span>

湿度

60%以下