检测元素范図�/span>

WDS�?Be)^*1/B～U� EDS：B～U

X射线检测范図�/span>

WDS检测的波长范围: 0.087�?.3nm＋�/p>

EDS EDS检测的能量范围: 20keV

分光谱仪数量

WDS: 1�?道可选、EDS: 1�?/span>

**样品尺寸

100mm �� 100mm �� 50mm（H（�/span>

加速电厊�/span>

0�?0kV（以0.1 kV为步长）

束流电流范围

10^-12� 10^-5A

束流电流稳定�?/span>

5%/h� ��0.3%/12h（W（�/span>

二次电子分辨玆�/span>

6nm（W）， 5nm（LaB₆（�sup>*2

（W.D. 11mm� 30kV（�/span>

扫描倍率

��40 � ��300�?00（W. D. 11mm（�/span>

扫描图像分辨玆�/span>

** 5�?20�� 3�?40

彩色显示�?/span>

EPMA分析�? LCD 1�?80 �� 1�?24

SEM操作� EDS分析�? LCD 1�?80 �� 1�?24

光学显微镛�/span>

分辨玆�/span>

�?um

焦深

1um

真空系统

机械泵、分子泵、离子泵^*2

真空�?/span>

样品宣� 优于8.0 x 10^-4Pa＋�/p>

电子�? 优于9.0 x 10^-5Pa