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日本JEOL聚焦离子束加工观察系统JIB-4000
JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜?单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后,就能对样品表面进行SIM观察 、研磨,沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较,SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异,这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构、/span>
产品规格
FIB
离子溏/span> | Ga (镓)液态金属离子源 |
加速电厊/span> | 1?0kV? kV/步) |
放大倍率 | 60 (用于视场搜索) 200?#215;300?00 |
图像分辨玆/span> | 5 nm (30 kV) |
**束流 | 60 nA (at 30 kV) |
可变光阑 | 12 ?马达驱动) |
离子束加工形犵/span> | 矩形、线状、点犵/span> |
样品?/span> | 块状样品 5 轴测角样品台 X:11 mm Y:15 mm Z:0.5 ?3 mm T:? ?0 R:360无限 样品**尺寸: 28 mm(高?3 mm)?0 mm(高? mm(/span> |
主要附件
气体注入系统 (IB-02100GIS2)
碳沉积圆 (IB-52110CDC2)
钨沉积圆?IB-52120WDC2)
白金沉积圆筒 (IB-52130WDC2)
侧插式测角样品台 (IB-01040SEG)
束流探测 (IB-04010PCD)
操作面板(IB-05010OP)
样品台导航系 (IB-01200SNS)
FIB Tip-on(尖端上可以安装附件的)样品?EM-02210)
FIB 块状样品用样品架FIB (EM-02220)
FIB 块状样品用样品架1(EM-02560FBSH1)
FIB 块状样品用样品架2 (EM-02570FBSH2)
FE-SEM 样品架适配 (EM-02580FSHA)
穿梭移动夹头Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)
原位样品提取系统 (EM-02230)
产品特点9/span>
JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜?单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后,就能对样品表面进行SIM观察 、研磨,沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较,SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异,这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构、/span>
高性能FIB镜筒
JIB-4000采用高性能的FIB镜筒?*离子束流高达 60 nA,能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨,制备100 m以上用来观察的截面非常轻松、/span>
用户友好的FIB装置
JIB-4000高性能 FIB镜筒具有出色的可操作性。用户友好的外观和GUI设计,建立了使用方便的FIB系统。即使不是FIB专家也能够轻松操作,此外,该装置小巧紧凑为业?小体积,安装地点的选择范围很大、/span>
双样品台
JIB-4000标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用,此外还可以增配侧插式测角台(TEM用Tip-on 样品架可以直接插入)。块状样品马达驱动样品台能观察整个表面为20 mm x 20 mm的块状样品,样品交换可以通过气锁式系统快速进行。侧插式测角台与JEOL的TEM系统使用的相同,因此Tip-on (尖端上可以安装附件的)样品架与JEOL的TEM系统可以通用,这样,FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行、/span>
丰富的附仵/span>
有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统,对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件,该系统可以支持样品制备以外的应用、/span>
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