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SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC,HBO 350W/S HBO 1000W/D HBO 5000W/S

详细介绍

SUSS Micro Tecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下9/p>

HBO? short-arc mercury varour lamps for microlithography

适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯

灯管型号 寿命(H 适用SUSS苏期光刻机型

HBO 200W/DC 1000H MJB3 MJB4

HBO 350W/S 600H MA4 MA6 MA8 MA150 MJB3 MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6 MA8

HBO 5000W/S 1000H MA300

以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用亍/strong>SUSS苏斯光刻机型9/strong>

其它相关SUSS苏斯设备业务也可以咨询我们,合作愉快,谢?

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