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德国Diener等离子清洗机
德国Diener等离子清洗机的图?/></a></div></div></div>         <div class=
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德国Diener等离子清洗机Zepto,Atto,Femto,Pico,Nano,PlasmaBeam

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技?*者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz ?0KHz?3.56MHz,以及代表等离子应用***技术的2.45GHz的等离子清洗机、/span>

目前设备广泛应用于:等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的**质产品,以保证性能技术稳定、/span>

德国diener等离子表面处理设备特点:

等离子清洗机清洗效果好,效率高,应用范围广、/p>

对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求

等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理、/p>

射频功率无极连续可调、/p>

高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证、/p>

特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效?*化,同时也可保证样品可得到全面有效的清洗、/p>

特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全、/p>

设备整体模块化设计,安装与维护极为简单、/span>

德国diener等离子表面处理设备多种系列:

Diener等离子表面处理设 PICO PCCE 全自?/strong>

主要技术参数:

  • *全自动PCCE控制系统,可存储50套程序、/span>

  • *根据工艺要求不同,可设定真空泵启动与停止、发生器的功率、反应腔体压强、气体流量与时间等参?/span>

  • 双路工作气体,MFC质量流量讠/span>

  • *反应舱为方形铝制腔体w: 150 mm h: 160 mm d: 325 mm带有铰链门,门带有观察窗、/span>

  • *发生?00 kHz 0 500 W连续可调,反射波自动调节、/span>

  • 电极材质为铝制、/span>

  • 真空泵抽气能?m3/h

  • *配有压力传感器,实时显示压力倻/span>

  • 电源电压:单相AC230V 16A

配置清单9/strong>

数量

备注

主机

一?/span>

Diener PICO

真空泵(国内采购(/span>

一?/span>

VRD-8油泵

电源纾/span>

一核/span>

2mm

操作说明?/span>

一?/span>

操作面板

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