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KSI V300E 单探头超声波扫描显微镛/span>
1.扫描机械机构
? X轴和Y轴驱动系统全是磁悬浮高速线性电朹/span>
? *X、Y轴有?*扫描区域?00mm300mm
? *X、Y?*扫描速率?m/s
? X、Y?*扫描加速度?0m/s2
? X、Y轴的重复精度?#177;0.1um
? 扫描驱动装置Z轴:自锁步进马达
? Z轴的重复精度?#177;0.25um
? 具有自动对焦功能
? Z轴升降行程:100mm
2.脉冲信号收发器和换能?/span>
? 扫描工作模式:单通道工作模式
? 脉冲信号收发器带宽:5MHz?00MHz
? 射频总增益:72dB,以1dB/步增减调芁/span>
? *换能器要求及数量9/strong>
15MHz/f=0.75 1 ,检测TO封装等的厚型塑封器件
30MHz/f=12.7mm 1 ,检测常规的塑封器件
40MHz/f=20mm 1 ,检测IGBT等大功率模组
110MHz/f=8mm 1 ,检测Flipchip/BGA等薄型器仵/p>
175MHz/f=8mm 1 ,检?*型结构的器件或新设计
透射模组(含20MHz接收探头 1套,用来做IC的快速批量检测或PCB板的检浊/span>
? 模数转换卡ADC 1GHz
? 声学图像放大倍数大于200
3.样品?工装/过滤系统
? 样品槽尺寸: 546mm860mm120mm(WDH(/span>
? 机器内含自净过滤系统
4.软件
4.1控制软件KSI VISION
? 软件界面语言:英斆/span>
? 扫描模式9/span>
1) 点扫?A-Scan)
2) 纵剖扫描(B-Scan)
3) 横剖扫描(C-Scan)
4) 斜剖扫描(D-Scan)
5) 多层横剖扫描(X-Scan)
6) 多配置多层横剖扫?G-Scan)
7) 序列扫描(Sequence-Scan)
8) 自动扫描(Auto-Scan)
9) 3D扫描(3D-Scan)
10) Z扫描(Z-Scan)
11) 高质量扫?HQ-Scan)
? 保存图像格式:BMP、JPG、及保存所有尺寸及声波信号的原始声学图像格?SAM、SAZ):/span>
? **图像采样像素?200032000像素
? **采样分辨率:1um ?000像素/毫米(/span>
? *小门限时间:2ns
? 软件主要功能9/span>
1) 扫描过程中调节增益、门限时间、门限位置、门限延迟;
2) 厚度和距离测野/span>
3) 分层缺陷着艱/span>
4) 扫描图像复位功能,轻松重构超扫图像; l
5) 3D图像
6) 设置参数均会自动存储,包括:A波形图、功率设置、增益、数字门限延迟、门限宽度;
7) 阈值、正负波峰相位检测包括:幅值、均值、双极;
8) 被测样品扫描尺寸和定位选择、相位检测、表面跟踪、采样图像分辨率选择:/span>
*4.2 三维图像扫描/旋转/剪切软件包KSI 4D VOLUME
? 能对声学图像进行三维扫描、旋转、剖切等处理,直观地再现被测样品的空间感、/span>
*4.3 二维图像分析软件 KSI VSION VIEW
? 易用的图像分析软件包KSI VSION VIEW,包括缺陷面积百分比统计、着色处理等常用的声学图像分析功能;
5.工控机配置:
? Intel酷睿双核处理器,核心频率大于2.6GHz
? 正版Windows10操作系统英文片/span>
? 24 平板显示 2?/span>
? 128GB固态硬 + 1000 GB 机械硬盘
? 8 GB RAM 内存
可选配置包括如下:
能压制水花的防误判低噪探头,?MHz 10MHz 30MHz 40MHz 50MHz ………?230MH 300MHz?30Hz?00MHz可 (共200个多,机器标配已?5MHz探头1?/span>
二维图像缺陷分析软件包Ksi vision View
三维图像缺陷分析软件包Ksi Volume4D
主控软件离线 Ksi Vision (该软件也可以在普通办公电脑上运行(/span>
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定制特殊样品?/span>
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