瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS

详细介绍

掩膜计量系统

主要优势

*更佳的配凅� 30%

*更好地将掩膜套合到掩膜上: 20%

*更短的周转时闳� 30%

� **的创新性Prexision平台具备优异的精准度与可重复�?/span>

� 用我们的**技术改善配准测量、�/span>

。因�?*次测量的结果精确无误，这大大给您节省了周转时间、�/span>

� 充分发挥我们的Prexision光刻机的潜力、�/span>

基于*精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在，您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了�?/span>

为充分利用其性能，您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的，这样您的光掩膜才能�?*的质量描绘出来、�/span>

Prexision-MMS 提供两个型号。G8�?*可处理用�?代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于G10型，**可处�?1代显示器尺寸、�/span>

技术指� Prexision-MMS

掩膜对掩膜套�?��[nm] : 40

配准3��[nm] : 65

关键尺寸可重复�?��[nm]: 50

**尺寸: G8