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美TED PELLA 自动离子溅射 108AUTO
108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜
主要特?/strong>
自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和很佳的导电喷镀效果、/span>
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损、/span>
操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制、/span>
在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果＋/span>
通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程、/span>
可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程、/span>
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果、/span>
可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便、/span>
技术参?/strong> |
|
样品室大導/strong> |
直径120mmx 120mm ?4.75 x 4.75") |
靶材 |
Au 靶为标配，Au:Pd Pt Pt:Pd （选件（大小：直?7mmx 0.1mm厙/span> |
样品?/strong> |
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围?0mm |
溅射控制 |
微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电?0mA，程序化数字控制 |
溅射夳/strong> |
低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
模拟计量 |
真空：Atm - 0.001mbar |
厚度监控 (选件) |
使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过稊/span> |
控制方法 |
自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0?00s），自动放气 |
桌上系统 |
真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
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