日本JEOL场发射电子探针显微分析仪 JXA-8530F Plus

2003年日本电子推出了世界首台商业化场发射电子探针（FE-EPMA），此后被广泛地应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了极高的赞誉�?*研发的第三代场发射电子探针JXA-8530F Plus，电子光学系统有了很大的改进，新的软件能提供更高的通量，并保持着极高的稳定性，能实现更广泛的EPMA应用、�/span>

产品特点９�/span>

�� 肖特基场发射电子探针Plus

�� JXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子枪，优化了角电流密度，能利�? ��A以上的大探针电流进行分析，还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率、�/span>

�� 高级软件

�� 新开发了多种基于Windows操作系统的软件，其中包括：能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序”、能自动制作相图的“相图制作器”以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序”等、�/span>

�� 备注：Windows7? 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标、�/span>

�� 灵活的WDS配置

�� X射线波谱仪可以选择140 R�?00 R罗兰圆， 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽，波长分辨率高和P/ B比优异，100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点，可以根据需要选择使用、�/span>

�� WDS/EDS组合系统

�� JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器（以下简称SD检测器），凭借高计数率的SD检测器，在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析，通过简单的操作就能采集EDS谱图、�/span>

�� 多功能样品室

�� 样品室的可扩展性强，配备了样品交换室，可以安装各种附件� 可以安装的附仵�/span>

�� ? 电子背散射衍射系统（EBSD（�/span>

�� ? 阴极荧光检测系绞�/span>

�� ? 软X射线分析谱仪

�� ? 不暴露在大气环境下的转移舰�/span>

�� ? 高蚀刻速率的离子源

�� 强力、清洁的真空系统

高强力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵， 镜筒内还采用两个中间室，通过差动抽气保持电子枪室的高真空、�/span>

�� 软X射线分析谱仪 (SXES)

�� SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)　 软X射线分析谱仪

�� 日本东北大学多元物质科学研究所（寺内正己教授）和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪� 新开发的变栅距衍射光�?VLS）和高灵敏度的CCD相机组合，同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线，该谱仪实现了极高的能量分辨率，因而能进行化学结合状态分析等、�/span>

�� miXcroscopy （关联显微镜)

�� miXcroscopy 光学显微�?扫描电子显微镜关联系绞�/span>

�� 能批量登录光学显微镜指定的坐标数据作为EPMA的分析点，该系统*适合于需要用光学显微镜决定分析位置的样品、�/span>