一� URE-2000S/A8 型双面光刻机

1.主要技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

曝光波长�?65nm� 15mW/cm

405nm�?5-30mW/cm2

分辨力：1mm

对准精度�?#177;2 mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.8mm（单面）

掩模尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm�?mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>l

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-200mm

照明不均匀性：5%＇�/span>��200mm 范围（�/span>

掩模相对于样片运动行程：

X�?#177;5mm; Y�?#177;5mm; q�?#177;6 �?/span>

**胶厚�?00 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2��

具有�?/strong>�?/strong>水冷却系绞�/strong>

汞灯功率�?000W（直流，迚�/strong>叢�/strong>（�/span>

2．外形尺寸：1400mm（长）�?200mm(�? �?000mm（高（�/span>

3．设备构成与配置明细

设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底� CCD 对准系统、电�?/span>

系统、气动控制系统及辅助配套设备构成、�/span>

�?）曝光头系统包括９�/span>

。冷光椭球镜

�?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风�?

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片�?/span>

场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台系统包括９�/span>

。掩模样片相对运动台（XY（�/span>

。转动台�?#952;（�/span>

。样片自动调平机枃�/span>

。样片调焦机构l

。承片台 4 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模架 4 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模翻转及旋转机构

�?）对准显微镜（可选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括９�/span>

。LED 照明及配套电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 及光学成像系绞�/span>

XYZ 底面寸�/strong>准工件台＇�/strong>丣�/strong>套）

�?）底� CCD 对准系统

。LED 照明及配套电溏�/span>

。CCD 及光学成像系�?2 �?

。数据采集卡

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?2 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附件（选配（�/span>

。真空泵一台（无油静音型）

。空压机一台（无油静音型）

。恒温循环水冷却系统

。管遒�/span>

二� URE-2000S/A 垊�/strong>友�/strong>面光刻机

1.主要技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

曝光波长�?65nm� 20mW/cm

405nm�?0-35mW/cm2

分辨力：1mm

对准精度�?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.8mm（单面）

掩模尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm�?mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口7

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

照明不均匀性： 2.5%＇�/span>��100mm 范围（�/span>

3%＇�/span>��150mm 范围（�/span>

掩模相对于样片运动行程：

X�?#177;5mm; Y�?#177;5mm; q�?#177;6 �?/span>

**胶厚�?00 mm（SU8 胶，用户提供检测条件）

光源平行性：2��

具有�?/strong>�?/strong>水冷却系绞�/strong>

汞灯功率�?000W（直流，迚�/strong>叢�/strong>（�/span>

2．外形尺寸：1400mm（长）�?200mm(�? �?000mm（高（�/span>

3．设备构成与配置明细

设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底� CCD 对准系统、电�?/span>

系统、气动控制系统及辅助配套设备构成、�/span>

�?）曝光头系统包括９�/span>

。冷光椭球镜

�?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风�?

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片�?/span>

场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台系统包括９�/span>

。掩模样片相对运动台（XY（�/span>

。转动台样片自动调平机构

。样片调焦机枃�/span>

。承片台 4 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�?

。掩模架 4 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模翻转及旋转机构

�?）对准显微镜（可选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括９�/span>

。LED 照明及配套电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 及光学成像系绞�/span>

。XYZ底面寸�/strong>准工件台＇�/strong>丣�/strong>套）

�?）底� CCD 对准系统

。LED 照明及配套电溏�/span>

。CCD 及光学成像系�?2 �?

。数据采集卡

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?2 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附件（选配（�/span>

。真空泵一台（无油静音型）

。空压机一台（无油静音型）

。恒温循环水冷却系统

。管遒�/span>

�?）技术资斘�/span>

。设备使用及维护说明�?/span>

三� URE-2000S/B 垊�/strong>友�/strong>面光刻机

1．技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

曝光波长�?65nm� 25mW/cm

405nm�?0-40mW/cm2

分辨力：1mm

对准精度�?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.8mm（单面）

掩模尺寸� 3 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm--6mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>10

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

照明不均匀性： 2.5%＇�/span>��100mm 范围（�/span>

掩模相对于样片运动行程：

X: ��5mm; Y: ��5mm; q: ��6 �?/span>

**胵�/strong>厚：600mm（SU8胵�/strong>，用戶�/strong>提供检测条件）

光源平行性：2��

具有�?/strong>�?/strong>水冷却系绞�/strong>

汞灯功率�?000W（直流，迚�/strong>叢�/strong>（�/span>

2．外形尺寸：1400mm（长）�?200mm(�? �?000mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

�?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗，长寿命型)：�/span>

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场

镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机枃�/span>

。承片台 3 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 3 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源（配备� 2 只）、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）11

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 光学系统

�?）底� CCD 对准系统

。光源（配备� 2 只）� 电源

。成像光学系�?2 �?

。双通道数据采集占�/span>

。CCD（两套）

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统（监视器� 21 英寸宽屏液晶（�/span>

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。无油静音真空泵一�?/span>

。无油静音空压机一�?/span>

。恒温循环水冷却系统

。管遒�/span>

四� URE-2000S/25A 垊�/strong>友�/strong>面光刻机

1．技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

曝光波长�?65nm９�/span>

功率密度：＞25mW/cm2

分辨力：1mm

正面友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>

旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>**倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800

倍，�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倍；�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

正面立式友�/strong>CCD寸�/strong>准系绞�/strong>，光�?/strong>放大�?.65-4.5 倍；其�/strong>备侧向光溏�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

对准精度�?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.8mm（单面）

掩模尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸：：2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm--2mm(双面)

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 2.5%＇�/span>��100mm 范围（�/span>

4%＇�/span>��150 mm 范围�?3

掩模相对于样片运动行程：

X: ��5mm; Y: ��5mm; q: ��6 �?/span>

汞灯功率�?50W（直流，迚�/strong>叢�/strong>（�/span>

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口

**胵�/strong>厚：350mm（SU8胵�/strong>，用戶�/strong>提供检测条件）

光源平行性：3.5��

2．外形尺寸：1300mm（长）�?00mm(�? �?800mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

�?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台 4 个（2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 4 个（3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）双目双视场对准显微镜（� CCD，目镜和监视器可同时观测（�/span>

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。立式双 CCD 光学对准系统 14

。侧向对准光溏�/span>

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>

五� URE-2000S/25 型双面光刻机

1．技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

曝光波长�?65nm� 40mW/cm

405nm�?0-45mW/cm2

分辨力：1mm

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

对准精度�?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.6mm（单面）

掩模尺寸� 3 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm--2mm(双面)

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 3%＇�/span>��100mm 范围�?6

掩模相对于样片运动行程：

X: ��5mm; Y: ��5mm; q: ��6 �?/span>

汞灯功率�?50W（直流，迚�/strong>叢�/strong>（�/span>

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口

**胵�/strong>厚：350mm（SU8胵�/strong>，用戶�/strong>提供检测条件）

光源平行性：3.5��

2．外形尺寸：1300mm（长）�?00mm(�? �?800mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

�?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台 3 个（2 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 3 个（3 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）双目双视场对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）17

。CCD 光学系统（选配件）

。XYZ 底面对准工件�?/span>

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>

六� URE-2000S/35L（A）型双面光刻朹�/span>

1．技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

� 源：紫外 LED

曝光波长�?65nm� 10-25mW/cm

分辨力：1mm

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

对准精度�?#177;2mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.6mm（单面）

掩模尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm--2mm ＋�/span>

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性：2.5%＇�/span>��100mm 范围�?9

3%� f150 mm 范围（�/span>

掩模相对于样片运动行程：

X: ��5mm; Y: ��5mm; q: ��6 �?/span>

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口

**胵�/strong>厚：400mm（SU8胵�/strong>，用戶�/strong>提供检测条件）

光源平行性：2��

2．外形尺寸：1300mm（长）�?00mm(�? �?800mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

。LED迚�/strong>口光溏�/strong>

。冷却模坖�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>

1、冷光反射镜 1、反射镜 2�?strong>能力调节器、微先�/strong>�?/strong>整形元件

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台 4 个（2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 4 个（3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）双目双视场对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）20

。XYZ 底面对准工件�?/span>

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>

七� URE-2000S/35L（B）型双面光刻朹�/span>

1．技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸

� 源：紫外 LED

曝光波长�?65nm�?0-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

对准精度�?#177;2 mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.6mm（单面）

掩模尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

厚度 0.1mm--2mm(双面)

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 2.5%＇�/span>��100mm 范围�?2

掩模相对于样片运动行程：

X: ��5mm; Y: ��5mm; q: ��6 �?/span>

谂�/strong>平接触压力這�/strong>过传感器俜�/strong>�?/strong>里�/strong>夌�/strong>

�?/strong>孖�/strong>讽�/strong>宙�/strong>寸�/strong>凅�/strong>闳�/strong>隙和曝光闳�/strong>隘�/strong>

其�/strong>备压印模坖�/strong>接口，也其�/strong>夆�/strong>接近樠�/strong>坖�/strong>接口

**胵�/strong>厚：400mm（SU8胵�/strong>，用戶�/strong>提供检测条件）

光源平行性：2��

2．外形尺寸：1300mm（长）�?00mm(�? �?800mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

。LED迚�/strong>口光溏�/strong>

。冷却模坖�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>

1、冷光反射镜 1、反射镜 2�?strong>能力调节器、微先�/strong>�?/strong>整形元件

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台 3 个（2 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 3 个（3 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）双目双视场对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）

。XYZ 底面对准工件�?3

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>

�?）技术资斘�/span>

。使用维修说明书

。显微镜使用说明�?/span>

八� URE-2000S/25S 垊�/strong>友�/strong>面光刻机

1．技术参�?/span>

曝光面积�? 英寸（或 6 英寸（�/span>

曝光波长�?65nm� 40mW/cm

405nm�?0-40mW/cm2

分辨力：1mm

正面寸�/strong>准采�?/strong>友�/strong>�?/strong>双视场对凅�/strong>昽�/strong>�?/strong>镛�/strong>９�/strong>旡�/strong>可這�/strong>迆�/strong>�?/strong>镛�/strong>�?/strong>视对准，也可這�/strong>迆�/strong>CCD+昽�/strong>示器寸�/strong>准，先�/strong>�?/strong>合像，光�?/strong>*

大倌�/strong>�?/strong>400倍，先�/strong>�?/strong>+甴�/strong>子放� 800 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

�?/strong>镛�/strong>丈�/strong>寸�/strong>�? 倍�?0 倍�?0 倌�/strong>

底面靡�/strong>寸�/strong>准：采用双显微物�?CCD+采集�?计算机合像，�?/strong>镜轴距范図�/strong>10mm-148mm

对准精度�?#177;2.5mm（双面，片厚 0.8mm（�/span>

��0.6mm（单面）

掩模尺寸� 3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置（�/span>

样片尺寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置� 25

厚度 0.1mm--2mm

曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

照明不均匀性： 3%＇�/span>��100mm 范围（�/span>

5%� f150 mm 范围（�/span>

掩模相对于样片运动行程：

X: ��5mm; Y: ��5mm; q: ��6 �?/span>

汞灯功率�?50W（直流，迚�/strong>叢�/strong>（�/span>

**胵�/strong>厚：350mm（SU8胵�/strong>，用戶�/strong>提供检测条件）

光源平行性：3.5��

2．外形尺寸：1300mm（长）�?000mm(�? �?800mm（高（�/span>

3．配�?/span>

�?）曝光头（两套）

。冷光椭球镜

�?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>

1、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置（�/span>

。掩模夹�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置（�/span>

�?）双目双视场对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）26

。XYZ 底面对准工件�?/span>

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>