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美国FEI 扫描电镜Helios 5 CX DualBeam
DualBeamTM 技术的突破性创 更快速、更简協/span>
Helios 5 CX DualBeam 结合Thermo Scientific?AutoTEM? 5 软件，实现全自动原位 TEM 制样。帮助不同经验水平用户获?*质量结果，制栶/span>无需值守从而显著提高工作效率、/span>
使用Helios 5 CX DualBeam 系统 AS&V4 软件制备样品表面用于三维数据采集、/span>
主要优势
。Tomahawk HT 离子镜筒实现高质量、定 TEM APT 制样
。可 AutoTEM 5 软件，实?快?简单、全自动、无人值守、多点原位和非原位TEM样品制备和横截面加工
?* Elstar 电子镜筒搭载 SmartAlign FLASH 技术，可为任何经验水平的用户在*短时间内获取纳米尺度信息
。多 6 个集成化镜筒内及透镜下探测器，采集优质、锐利、无荷电国/span>像，提供*完整的样品信?/span>
。可 AS&V4 软件，精确定位感兴趣区域，获?*质量、多模态内?/span>和三维信?/span>
。小 10 nm 复杂结构的快速、准确、精确加工和沉积
。高灵活 110 mm 样品台和样品 Nav-Cam 相机实现*简单样品处理和导航
。集成化样品清洁管理和专用的 DCFI Thermo ScientificSmartScan? 等模式实现无伪影成像
**分辨成像并获?精确的材料衬?/strong>
Helios 5 CX DualBeam 系统采用超高亮度电子枪，配置全新一 UC +单色器技术，在电子束流高 100 pA 条件下可将电子束能量扩展降至0.2 eV以下，因而可在低着陆能量下实现亚纳米分辨率?*表面灵敏度。创新的 Elstar 电子镜筒为系统的极高分辨率成像性能奠定了基础。无论是 STEM 模式下以 30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，系统可在*广泛的工作条件下提供*出色的纳米级细节。独特镜筒内三重检测技术和浸没式模式可同时采集角度和能量选择 SE BSE 图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或是观察样品截面，都可确保快速获?详细的纳米级信息。附加的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的*小特征。Elstar 镜筒拥有多项独特设计可快速获取准确且可重复的结果，如恒定功率透镜（获得更高热稳定性）和静电扫描（提供高偏转性度和速度）、/span>
Helios 5 CX DualBeam 引入创新 SmartAlign 技术，无需再手动进行电子镜筒对中，不仅极大程度减少了系统的维护工作量，而且提高了操作人员工作效率。通常，观察不同材料要获取**结果，都需要进行电子束精调，精调步骤一般包括聚焦、透镜居中和消像散等，精调的过程既困难又耗时。步骤一般包括聚焦、透镜居中和消像散等，精调的过程既困难又耗时。为了解决这个问题，Helios 5 CX DualBeam 引入了新的精细图像调节功能FLASH 技术 借助 FLASH 技术，您只需要在图形用户界面中执行简单的鼠标操作即可，该过程类似于对图像进行聚焦，系统则“实时”进行消像散、透镜居中和图像聚焦。平均而言，FLASH 技术可以使获得优化图像所需的时?多缩 10 倍、/span>
**质量内部和三维信?/strong>
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质，Helios 5 CX DualBeam 系统选配 Thermo Scienti c? Auto Slice&View?4软件，以**质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三 BSE 图像提供**材料衬度，三 EDS 提供成分信息，而三 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scienti c? Avizo?软件，Helios 5 CX DualBeam 系统，系统可为纳米尺度的**分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案、/span>
真实环境条件的样品原位实骋/strong>
Helios 5 CX DualBeam 系统专为材料科学?*挑战性的材料微观表征需求而设计，可配置全集成化、极快 MEMS 热台 Heater，在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活性和控制能力，以及用于定制自动化的Thermo Scienti c? AutoScript 4? 软件，成?** DualBeam 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持、/span>
电子光学
? Elstar 超高分辨场发射扫描镜筒，配有９/span>
浸没式电磁物镛/span>
高稳定性的肖特基场发射电子枪，用于提供稳定高分辨率分析电流
? SmartAlign：自动合轴技?/span>
? 带极靴保护的 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样?/span>
? 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孓/span>
? 静电扫描，提高偏转线性度和速度
? Thermo Scientific? ConstantPower? 透镜技术，获得更高热稳定?/span>
? 集成快速电子束?
? 电子束减速，样品台偏 0 V -4 kV*
? 电子源寿命至 12 个月
电子束分辨率
? ?*工作距离下：
30 kV 下STEM 0.6 nm
15 kV 0.6 nm
1 kV 1.0 nm
1 kV 0.9 nm (电子束减速模? *
? 在束重合点：
15 kV 0.6 nm
1 kV 1.5 nm(电子束减速模 * DBS 探测?（/span>
电子束参?/strong>
? 电子束流范围?.8 pA - 176 nA
? 加速电压范围：200 V - 30 kV
? 着陆能量范围： 20 eV * - 30 keV
? **水平视场宽度? mm 工作距离下为 2.3 mm离子光学
Tomahawk HT 离子镜筒?*的大束流性能
? 离子束流范围? pA 100 nA
? 加速电压范围：500 V - 30 kV
? 两级差分抽吸
? 飞行时间（TOF）校凅/span>
? 15 孔光阐/span>
? **水平视场宽度：在束重合点处为 0.9 mm
? 离子源寿命至 1?00 小时
离子束分辨率（在重合点处（/strong>
30 kV 4.0 nm（采?*统计方法（/span>
30 kV 2.5 nm（采用选边法）
探测?/strong>
? Elstar 透镜 SE/BSE 探测系统（TLD-SE、TLD-BSE（/span>
? Elstar 镜筒 SE/BSE 探测系统（ICD *
? Elstar 镜筒 BSE 探测系统（MD *
? Everhart-Thornley 二次电子探测器（ETD（/span>
? 样品室红 CCD 相机，用于样品台高度观察
? 高性能电子及离子探测器（ICE），用于采集二次电子和二次离?
? 样品室内 Nav-Cam 相机，用于样品导 *
? 可伸缩式低电压、高衬度、定向固态背散射电子探测器（DBS?
? 可伸 STEM 3+ 分割式探测器(BF、DF、HAADF) *
? 集成电子束流测量
样品台和样品
高度灵活的五轴电动样品台９/span>
? XY 范围?10 mm
? Z 范围?5 mm
? 旋转?60（连续）
? 倾斜范围?15 +90
? **样品高度：与优中心点间隔 85 mm
? **样品质量：任意位置处 500 g（包括样品托）；0倾斜时可 5kg：/span>
? **样品尺寸：可 X、Y 轴完全旋转时直径 110mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限（/span>
? 同心旋转和倾斜
真空系统
? 完全无油的真空系绞/span>
? 样品仓真空（高真空）９ 2.6 x 10-6 mbar?4小时抽气后）
? 抽气时间９ 5 分钟样品仒/span>
? 电子束和离子束重合点在分析工作距离处 4 mm SEM （/span>
? 端口?1 ?/span>
? 内宽?79 mm
? 集成等离子清洖/span>
样品扗/strong>
? 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容 18 个标准样品托架（12 mm）? 个预倾斜样品托? 个垂直和2 个预倾斜侧排托架?8 90），样品安装无需工具
? Vise 样品托可夹持不规则、大或中的样品到样品台上
? 各种晶片和定制化样品托可按要求提?
图像处理?/strong>
? 驻留时间范围?5 纳秒 25 毫秒/像素
? ** 65000 65000 像素
? 文件类型：TIFF (8 位?6 位?4 ?、BMP JPEG 标配
? SmartSCAN? (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫?
? DCFI (漂移补偿帧积?
系统控制
? 64 GUI（Windows? 10，）、键盘、光学鼠栆/span>
? 可同时激活多 4 个视图，分别显示不同束图像和/或信号，真彩信号混合
? 本地语言支持：请与当 Thermo Fisher 销售代表联系确认可用语言匄/span>
? 两台 24 英寸宽屏显示 1920 x 1200，用于系统GUI和全屏图像观寞/span>
? 显微镜控制和支持计算机无缝共享一套键盘、鼠标和显示?/span>
? Joystick 操纵?
? 多功能控制板*
? 远程控制和成?
支持软件
? “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多? 个视国/span>
? Thermo Scientific? SPI?（同步FIB加工和SEM成像）、iSPI?（间歇式SEM成像和FIB加工）、iRTM?（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB过程监测和端点测野/span>
? 支持的图形：直线、矩形、多边形、圆形、圆环、截面、清洁截靡/span>
? 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉?/span>
? 材料文件支持?短循环时间”、束调谐和独立重叟/span>
? 图像配准支持导入图像进行样品导航
? 光学图像上的样品导航配件*
? GIS（气体注入系统）解决方案９/span>
单个GIS：多 5 个独立单元，用于增强蚀刻或沉积
Thermo Scientific? MultiChem?：在同一单元上有多达 6 种化学选项，用于先进蚀刻和沉积控制
? GIS 束化学选项**
铂沉?/span>
钨沉?/span>
碳沉?/span>
绝缘体沉积II
金沉?/span>
Thermo Scientific? Enhanced Etch? （碘?*（/span>
绝缘体优化的蚀?XeF2)
Thermo Scientific? Delineation Etch? ?*（/span>
选择性碳刻蚀?*（/span>
空坩埚，用于经批准的用户提供的材斘/span>
更多束化学选项可按要求提供
? Thermo Scientific? EasyLift? 系统用于精确原位样品操纵
? FIB 荷电中和?/span>
? 分析：EDS、EBSD、WDS
? Thermo Scientific? QuickLoader? ：快速真空进样器
? 独有的Thermo Scientific? CryoMAT? 用于材料科学冷冻应用
? 第三方供应商提供的冷冻解决方桇/span>
? Thermo Scientific? 隔音?/span>
? Thermo Scientific? CyroCleaner? 系统
软件选项*
? Thermo Scientific? AutoTEM? 软件，用于自动化 S/TEM 制样
? Thermo Scientific? AutoScript? 4 软件，双束自动化套件
? Thermo Scientific? Maps? 软件，用于大区域的自动图像采集、拼接和关联
? Thermo Scientific? NanoBuilder? 系统：基于CAD (GDSII) 的先进专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制夆/span>
? AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图像、EDS 或EBSD 图像进行三维重建
? Avizo 三维重建及分析软仵/span>
? CAD 导航
? 基于 Web 的数据库软件
? 高级图像分析软件
Thermo Scientific Helios 5 D ualBeam 产品系列凭借其***的聚焦离子束和电子束性能、专有软件、自动化和易用性特征，重新定义了样品制备和三维表征的标准、/span>
Thermo Scientifc? Helios? 5 CX DualBeam 系统属于业界** Helios DualBeam 系列的第五代产品，专为满足科学家和工程师的各类分析及研究需求而设计，它将创新 Thermo Scientific? Elstar? 电子镜筒?* Thermo Scientifc? Tomahawk? 离子镜筒有机结合，前者可实现极高分辨率成像和**材料衬度，而后者可实现*快速?简单?精确的高质量样品制备。系统不仅配?**的电子和离子光学系统，还采用了一系列***的技术，可实现简单一致的高分辨率 S/TEM 和原子探针断层扫描（APT）样品制备，以及**质量的内部和三维表征，即使在**挑战性的样品上也表现出色、/span>
**质量、超 TEM 制样
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Helios 5 CX DualBeam 系统?*技术创新结?易于使用?全面 Thermo Scienti c 专业应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。为了获得高质量的结果，需要使用低能离子进行精抛，?*限度地减少样品的表面损伤。Tomahawk HT 聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下进行高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量 TEM 薄片、/span>
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