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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
URE-2000A 型紫外单面光刻机
1．技术参?/span>
。曝光面积：150mmX150mm
。曝光波长：365nm
。分辨力?.8-1m（胶 2 m 的正胶）
。对准精度：0. 6m
。掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
。掩模尺寸：3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
。样片尺寸：直径15mm-- 150mm（各种不规则片），厚 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
。曝光方式：定时（计时方式倒计），0.1s-9999s
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
。照明不均匀性： 2.5%?#1060;100mm 范围?%?#1060;150mm 范围（/span>
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 ?2
。调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接叢/span>
。掩模相对于样片运动行程９/span>
X: 5mm; Y: 5mm; Thelta: 6 ?/span>
。胶厚：500
m
(SU8 ?
。光源平行性：1.2
。曝光能量密度：>18mW/cm2
。冷却方式：循环?风冷
。曝光面温度９30C
。汞灯功率：1000W（直流，进口
2．外形尺寸：
1400mm（长）x1200mm(?x1950mm（高（/span>
3．配?/strong>
?）曝光头
。冷光椭球镜
?000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗，长寿命型)
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场?、场 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
。循环水冷系绞/span>
?）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，自动谂/span>
。承片台 4 个（2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 4 个（3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。基片抽拉式上下片机枃/span>
?）对准显微镜
。光源（配备 2 只）、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主?3
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?）CCD 对准系统(选配)
。光源（配备 3 只）、电溏/span>
。成像光学系统（两套（/span>
。数据采集卡
。三维工件台（两套）
。CCD? 只）
?）电控系绞/strong>
。汞灯触发电?1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统及液晶显示器
?）气动系绞/strong>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一台（静音泵）
。管遒/span>
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