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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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URE-2000/A8 紫外单面光刻朹/strong>
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积 200mm200mm：/span>
?）分辨力：≤ 2m：/span>
?）对准精度：2m：/span>
?）掩模尺寸：5 英寸? 英寸? 英寸：/span>
?）样片尺寸：4 英寸? 英寸? 英寸：/span>
?）wafer chuck 表面：防止光反射涂层：/span>
?）掩模样片整体运动范围：X?0mm;Y:10mm：/span>
?）掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; Thelta: 6：/span>
?）汞灯功率：1000W（直流）：/span>
?0）曝光能量密度： 15mW/cm 2 ：/span>
?1）曝光峰值波镾365nm：/span>
?2）曝光方式：定时（计时方 0.1s?99.9s）；
?3）调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?4）数字设定对准间隙和曝光间隙
?5）具备压印模块接口，也具备接近模块接叢/span>
2．技术主要组成部刅/span>
?）曝光头系统包括:
冷光椭球镜；
。德 OSRAM1000W 直流高压汞灯：/span>
。XYZ 汞灯调节台；
光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）：/span>
冷却风扇、/span>
?）对准工件台系统包括:
。掩模样片相对运动台：/span>
。（XY），转动台；
样片调平机构：/span>
样片调焦机构：/span>
承片 3 个： 4 英寸? 英寸? 英寸：/span>
掩模 3 个：5 英寸? 英寸? 英寸、/span>
?）CCD 对准显微镜系统包?
? 倍显微镜 2 只；
。照明光 2 套；
CCD 相机 2 只；
?2 英寸液晶显示器、/span>
?）电控系统：
汞灯触发电源(1000W)：/span>
单片机控制系统；
控制柜桌、/span>
?）气动系统系统包?
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
?）其他配置与附件
。真空泵一台；
。空压机一台；
配套气管 10m：/span>
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