URE-2000/600 紫外单面光刻朹�/strong>

1、设备主要技术指标：

(1)光束口径� 650mm��650mm

(2)有效曝光面积�?00mm��600mm

(3)分辨力：�?��m

(4)对准精度９�/span> ��1.5��m

(5)对准显微镜中心距�?5mm-600mm 可调

(6)掩模尺寸�?50mm��650mm

(7)样片尺寸：可适应��300mm�?#1060;450mm�?#1060;600mm 300mm��300mm�?50mm��450mm�?00mm��600mm，厚度为 0.2mm�?0mm 的多种规格样片；

(8)光源不均匀性：� 95%�?#1060;600mm（�/span>

(9)掩模相对于样片运动行程：X:��15mm; Y:��15mm; Z�?5mm Thelta:��10o

(10)曝光面光强：>15mW/cm2（i、g、h 线）

(11)汞灯功率�?500W（直流）

(12)曝光量设定方式：定时（计时方� 0.1s-9999.9s，设定精� 0.1s（�/span>

2．技术主要组成部刅�/span>

大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由：高均匀照明曝光系统、对准工件台糺�/span>统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配�?/span>

如下:

�?）高均匀照明系统包括９�/span>

� 冷光椭球镜；

�?500W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节台；

� 光学系统：椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 2、蝇眼逎�/span>镜组、抛物面冷光反射镜；

� 冷却风扇：�/span>

� 循环水冷系统、�/span>

�?）对准工件台系统包括９�/span>

。掩模样片相对运动台：�/span>

� 转动台；

� 样片调平机构，自动完成；

。样片调焦机构，自动调整：�/span>

。承片台 10 个：��300mm�?#1060;450mm�?#1060;600mm � 300mm��300mm�?50mm��450mm�?00mm��600mm：�/span>

� 掩模� 1 个：650mm��650mm：�/span>

� 抽拉式上下片机构、�/span>

�?）CCD 对准系统包括９�/span>

� 光源、电源；

� 显微镜工作台：�/span>

� 成像光学系统（两套）：�/span>

� 数据采集卡；

� CCD 图像处理部件（两套）、�/span>

�?）电控系统包括：

� 大功率汞灯触发电源；

。单片机控制系统：�/span>

� 薄膜开关面板；

� 控制柜桌：�/span>

�?）气动系统包括：

� 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等：�/span>

3 。电磁阀驱动部件：�/span>

� 气动显示仪表、�/span>

�?）其他配套附仵�/span>

� 真空泵一台（无油泵、SK-65C 型）：�/span>

� 空压机一台（静音型、YB-W30 型）：�/span>

。水冷机一台（H35W 型）：�/span>

� 配套接口管道

3.相关技术资料：

。设备使用及维护说明�?/span>

。出厂检验合格证、�/span>