DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机

1．技术特�?/strong>

。采� DMD 作为数字掩模，像素数 1024��768

。采� 14 倍缩小投影光刻物镜成像、�/p>

。采�?*技术——积木错位蝇眼透镜实现均明、�/p>

。具备对准功胼�/p>

。采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm?100mm 基片、�/p>

。采� CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光、�/span>

2．技术参�?/strong>

。光源：350W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫外LED：�/p>

。照明不均匀性：2%：�/p>

。物镜倍率�?4 倌�/p>

。曝光场面积�?mm��0.75mm

。光刻分辨力�? ��m

。工件台运动范围：X�?00mm� Y�?00mm：�/p>

。工件台运动定位精度９�/span>��0.65��m：�/p>

。调焦台运动灵敏度：1��m：�/p>

。对准精度：��2��m：�/p>

。调焦台运动行程�?mm

。检焦：CCD 检测，检测精� 2 微米

。转动台行程�?#177;6��以上

。基片尺寷�/p>

。外徃� �?mm�?00mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（长）x450mm(�? x830mm（高（�/span>

4．配�?/strong>

�?）照明系绞�/strong>

�?50W 直流汞灯（或 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组�?65nm 滤光片、气动快门、DMD（美国德州仪器）、冷却风扇、�/p>

。投影物镜：缩小倍率 14 倌�/p>

。分辨力 1��m

�?）工件台系统

。X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导� 2（日� THK）、光栅（美国（�/p>

。Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导� 2（日� THK）、光� 2（美国）

。转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系

。Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机枃�/p>

。承片台�? 英寸（可增加 3 英寸�? 英寸�? 英寸等）

�?）检焦系绞�/strong>

。焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软仵�/span>

�?）对准系绞�/strong>

。对准光学检测系统、CCD、对准软仵�/span>

�?）电控系绞�/strong>

。汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器�?9 英寸液晶）、接叢�/span>

�?）气动系绞�/strong>

。电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

�?）其他附仵�/strong>

。真空泵一�?无油�?

。空压机一台（静音泵）

。管遒�/span>