1．技术特�?/span>

.采用 DMD 作为数字掩模，像素数 1024��768 � 1920��1080 � 2560x1600 三种选配

.采用缩小投影光刻物镜成像，分辨力 1um、�/span>

.采用**技术——积木错位蝇眼透镜实现均明、�/span>

.采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm?100mm 基片、�/span>

.采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光、�/span>

.具备对准功能

2．技术参�?/span>

.光源�?50W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫� LED：�/span>

.照明不均匀性：2%：�/span>

.物镜倍率�?.6 倍（� 14 倍与选择� DMD 像素尺寸有关（�/span>

.曝光场面积：1mm��0.7mm （或 1.9mm��1.8mm ，或 2.5mm��1.6mm，与选择� DMD 像素数有关）?

.光刻分辨力：1 ��m

.工件台运动范围：X�?00mm� Y�?00mm：�/span>

.工件台运动定位精度：��0. 5��m：�/span>

.调焦台运动灵敏度�?��m：�/span>

.对准精度９�/span>��2��m：�/span>

.调焦台运动行程：6mm

.检焦：CCD 检测，检测精� 2 微米

.转动台行程：��6��以上

.直写速度�?0mm2 /min

基片尺寸

.外径:��1mm–�/span>��100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寷�/strong>�?40mm（长）x450mm(�? x830mm（高（�/span>

4．配�?/span>

�?）照明系绞�/span>

.350W 直流汞灯（或紫外 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组�?65nm 滤光片、气动快门、DMD（美

国德州仪器）、冷却风扇、�/span>

.投影物镜 7.6 倍，可根据用户要求另增加一�?

.分辨� 1?m（缩小倍率 7.6 倍）

�?）工件台系统

.X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导� 2（日� THK）、光栅（美国（�/span>

.Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导� 2（日� THK）、光� 2（美国）

.转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴糺�/span>

.Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机枃�/span>

.承片台：4 英寸（可增加 3 英寸�? 英寸�? 英寸等）

�?）检焦系绞�/span>

.焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软仵�/span>

�?）对准系绞�/span>

.对准光学检测系统、CCD、对准软仵�/span>

�?）电控系绞�/span>

.汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器�?9 英寸液晶）、接口（6）气动系绞�/span>

.电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

�?）其他附仵�/span>

.真空泵一�?无油�?

.空压机一台（静音泵）

.管道