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URE-2000S/B型紫外双面光刻机
URE-2000S/B型紫外双面光刻机的图?/></a></div></div></div>         <div class=
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面议
品牌9/dt>
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暂无
型号9/dt>
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四川
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URE-2000S/B 型紫外双面光刻机

技术参?/strong>

。曝光面积:4 英寸

。曝光波长:365nm 25mW/cm?05nm?0-40mW/cm2

。分辨力?m

。对准精度:2m(双面,片厚 0.8mm(/span> 0.8m(单面)

。掩模尺寸: 3 英寸? 英寸? 英寸

。样片尺寸:2 英寸? 英寸? 英寸,厚 0.1mm--6mm

。曝光方式:定时和定剂量

。调平接触压力通过传感器保证重夌/span>

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口,也具备接近模块接叢/span>

。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倌/span>

物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>

目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>

。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集?计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm

。照明不均匀性: 2.5%100mm 范围(/span>

。掩模相对于样片运动行程9/span>

X:5mm; Y:5mm; Thelta:6 ?/span>

。胶厚:600m(SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:2

。具有循环水冷却系统

。汞灯功率:1000W(直流,进口(/span>

外形尺寸?400mm(长)x1200mm(? x2000mm(高(/span>

配置

?)曝光头

。冷光椭球镜

?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型):/span>

。XYZ 汞灯调节?/span>

。冷却风扆/span>

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

?)对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机枃/span>

。承片台 3 ? 英寸? 英寸? 英寸(/span>

。掩模夹 3 ? 英寸? 英寸? 英寸(/span>

。掩模抽拉式上下机构

?)对准显微镜(可以选择 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)

。光源(配备 2 只)、电溏/span>

。双目双视场对准显微镜主佒/span>

。目 3 对(10 倍?6 倍?0 倍, 6 个)11

。物 3 对(4 倍?0 倍?0 倍, 6 个)

。CCD 光学系统

?)底 CCD 对准系统

。光源(配备 2 只) 电源

。成像光学系?2 ?

。双通道数据采集占/span>

。CCD(两套)

?)电控系绞/span>

。汞灯触发电?1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋/span>

。计算机系统(监视器 21 英寸宽屏液晶(/span>

?)气动系绞/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪?/span>

?)其他附仵/span>

。无油静音真空泵一?/span>

。无油静音空压机一?/span>

。恒温循环水冷却系统

。管遒/span>

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