主要技术参�?/span>

。曝光面积：6 英寸

。曝光波长：365nm� 20mW/cm�?05nm�?0-35mW/cm2

。分辨力�?��m

。对准精度：��2��m（双面，片厚 0.8mm），��0.8��m（单面）

。掩模尺寸：3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸，厚� 0.1mm�?mm

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。调平接触压力通过传感器保证重夌�/span>

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接�?

。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光�?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/span>

。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集�?计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

。照明不均匀性： 2.5%＇�/span>��100mm 范围）， 3%＇�/span>��150mm 范围（�/span>

。掩模相对于样片运动行程９�/span>

X９�/span>��5mm; Y９�/span>��5mm;Thelta９�/span>��6 �?/span>

�?*胶厚�?00��m（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：2��

。具有循环水冷却系统

。汞灯功率：1000W（直流，进口（�/span>

外形尺寸９�/strong>1400mm（长）x1200mm(�? x2000mm（高（�/span>

设备构成与配置明绅�/span>

设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底� CCD 对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成、�/span>

�?）曝光头系统包括９�/span>

。冷光椭球镜

�?000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风�?

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台系统包括９�/span>

。掩模样片相对运动台（XY（�/span>

。转动台�?#952;（�/span>

。样片自动调平机枃�/span>

。样片调焦机枃�/span>

。承片台 4 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�?

。掩模架 4 � �? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模翻转及旋转机构

�?）对准显微镜（可选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括９�/span>

。LED 照明及配套电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 及光学成像系绞�/span>

。XYZ 底面对准工件台（两套（�/span>

�?）底� CCD 对准系统

。LED 照明及配套电溏�/span>

。CCD 及光学成像系�?2 �?

。数据采集卡

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?2 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附件（选配（�/span>

。真空泵一台（无油静音型）

。空压机一台（无油静音型）

。恒温循环水冷却系统

。管遒�/span>