技术参�?/span>

。曝光面积：4 英寸（或 6 英寸（�/span>

。曝光波长：365nm� 40mW/cm�?05nm�?0-40mW/cm2

。分辨力�? ��m

。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光�?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集�?计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

。对准精度：��2.5��m（双面，片厚 0.8mm），�� 0.6��m（单面）

。掩模尺寸： 3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置（�/span>

。样片尺寸：2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置� ，厚� 0.1mm--2mm

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。照明不均匀性： 3%� ��100mm 范围），5%� ��150 mm 范围（�/span>

。掩模相对于样片运动行程：X: ��5mm; Y: ��5mm; Thelta: ��6 �?/span>

。汞灯功率：350W（直流，进口（�/span>

�?*胶厚�?50 ��m （SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5��

外形尺寸９�/strong>1300mm（长）x1000mm(�? x1800mm（高（�/span>

配置

�?）曝光头（两套）

、�/strong>冷光椭球镛�/span>

�?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>1、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置（�/span>

。掩模夹�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸配置（�/span>

�?）双目双视场对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）26

。XYZ 底面对准工件�?/span>

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>