技术参�?/span>

。曝光面积：6 英寸

。光 源：紫外 LED

。曝光波长：365nm� 10-25mW/cm

。分辨力�?��m

。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光�?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集�?计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

。对准精度：��2��m（双面，片厚 0.8mm），��0.6��m（单面）

。掩模尺寸：3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸，厚� 0.1mm--2mm ＋�/span>

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。照明不均匀性：2.5%� �� 100mm 范围�?9�?%� �� 150 mm 范围（�/span>

。掩模相对于样片运动行程９�/span>

X: ��5mm; Y: ��5mm; Thelta:��6 �?/span>

。调平接触压力通过传感器保证重夌�/span>

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接叢�/span>

�?*胶厚�?00 ��m（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：2��

外形尺寸９�/strong>1300mm（长）x900mm(�? x1800mm（高（�/span>

配置

�?）曝光头

。冷光椭球镜

。LED 进口光源

。冷却模坖�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛�/span>1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件

�?）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片调焦机构，气缸自动谂�/span>

。承片台 4 个（2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 4 个（3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）双目双视场对准显微镜（可以选择� CCD 型，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 光学系统（选配件）20

。XYZ 底面对准工件�?/span>

�?）底� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。成像光学系绞�/span>

。数据采集卡

。CCD

�?）电控系绞�/span>

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

。计算机系统�?1 英寸宽屏液晶显示器）

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一� （音静泵（�/span>

。管遒�/span>