主要技术参数：

�?）曝光面积：150mm��150mm：�/span>

�?）照明不均匀性： �?%� �� 150mm 范围）；

�?）分辨力�?.0��m�?65nm 波长（�/span>

�?）对准精度：�?#177;0.8��m：�/span>

�?）掩模尺寸：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸：�/span>

�?）样片尺寸：直径 �� 15mm-- �� 150mm、厚� 0.1mm--6mm：�/span>

�?）掩模相对于样片运动行程：X: ��5mm; Y: ��5mm; Thelta:��6��：�/span>

�?）掩模样片整体运动范围：X�?mm;Y:6mm

�?）曝光光源：紫外 LED（进口）：�/span>

�?0）曝光波长：365nm：�/span>

�?1）曝光强度：�?5mW/cm2 ：�/span>

�?2）曝光定时：倒计时方�?0.1s�?999.9s 任意设定).

�?3）调平接触压力通过传感器保证重夌�/span>

�?4）数字设定对准间隙和曝光间隙

�?5）具备压印模块接口，也具备接近模块接叢�/span>

技术构成与配置

设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统�?/span>气动系统等部分构成、�/span>

�?）曝光头系统包括:

� 进口紫外 LED 光源模块：�/span>

� LED 光源整形模块：�/span>

� XYZ 光源位置调节台；

� 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 �?/span>透镜）、场镜组、反射镜组）：�/span>

� 冷却风扇、�/span>

�?）对准工件台系统包括９�/span>

� 掩模样片相对运动台（XY）；

� 转动台；

� 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式；

� 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙；

� 承片� 4 个（2 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸� 1 个）：�/span>

� 掩模� 4 个（3 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸� 1 个）、�/span>

�?）CCD 对准显微镜系统包括：

� 对准光源 LED 灯；

� 双目双视场对准显微镜主体：�/span>

� 目镜 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）：�/span>

� 物镜 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）：�/span>

� CCD 部件：�/span>

� 22 英寸宽屏液晶显示器、�/span>

�?）电控系统包括：

� 单片机控制系统；

� 紫外 LED 电源模块：�/span>

� 控制柜桌、�/span>

�?）气动系统包括：

� 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 、�/span>

(6)．辅助设备配�?

� 真空� 1 台（干泵）；

� 静音空气压缩� 1 台；

� 配套接管 10m：�/span>

(7)．备品备仵�/span>

� 对准光源� 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）：�/span>