1．技术参�?/span>

。曝光面积：100mmX100mm

。曝光波长：365nm

。分辨力�?.8��m（胶� 2��m 的正胶）

。对准精度：�� 0.6��m

。掩模样片整体运动范围：X�?5mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：直径 �� 15mm--�� 100mm（各种不规则片）

厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼�/span>

。照明不均匀性： 2.5%�?#177;100mm 范围（�/span>

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光�?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物� 3 对：4 倍�?0 倍�?0 倍； 目镜 3 对：10 倍�?6 倍�?0 倌�/span>

。调平接触压力通过传感器保证重夌�/span>

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接�?5

。掩模相对于样片运动行程� X: ��5mm; Y: ��5mm; Thellta: ��6 �?/span>

�?*焦厚�?00��m（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行度�?.2o

。曝光能量密度：>20mW/cm

。汞灯功率：1000W（直流，进口（�/span>

2．外形尺寸：1400mm（长�?1200mm(�? ?1950mm（高（�/span>

3．配�?/strong>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

�?000W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。样片自动调焦机枃�/span>

。承片台 4 个（?15mm �? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模夹 4 个（2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。基片抽拉式上下机构

�?）对准显微镜� CCD 对准系统

。光源、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD

�?1 英寸液晶显示�?/span>

�?）电控系绞�/strong>

。汞灯触发电�?1000W 直流汞灯)16

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

�?）气动系绞�/strong>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪

�?）其他附仵�/strong>

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台（静音泵）

。管遒�/span>