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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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URE-2000/35A 型紫外单面光刻机
1．技术特?/strong>
——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便、/span>
2．技术参?/strong>
。曝光面积：6 英寸
。曝光波长：365nm
。分辨力?-1.2m（胶 2 m的正胶）
。对准精度：0.8m
。掩模样片整体运动范围：X?5mm; Y:15mm
。掩模尺寸：3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
。样片尺寸：直径 15mm-- 150mm（各种不规则片） 21厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
。照明不均匀性： 6%?#177;150mm 范围（/span>
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
。调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接叢/span>
。掩模相对于样片运动行程９/span>
X: 5mm; Y: 5mm; Thelta: 6o
?*焦厚?50m（SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：3.5 o
。曝光能量密度：>15mW/cm2，照明面温度<35 o
。单层曝光一键完戏/span>
。采用球气浮自动找平
。汞灯功率：350W（直流，进口（/span>
3．外形尺寸：1200mm（长）x900mm(? x1750mm（高（/span>
4．配?/strong>
?）曝光头
。冷光椭球镜
?50W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，三点自动完成22
。样片调焦机构，电机自动谂/span>
。基片抽拉式上下机构
。承片台 4 个：?15mm ? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
。掩模夹 4 个：3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?）对准显微镜
。光源（配备 2 只） 电源
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 对准系统?1 寸液晶显示器
?）电控系绞/strong>
。汞灯触发电?350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
?）气动系绞/strong>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/strong>
。真空泵一?/span>
。空压机一?/span>
。管遒/span>
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