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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
OAI UV Led 光源-对准和均匀,适用于高要求的光刻应用、/span>
BENEFIT 好处
Low Cost 低成?/span>
Long Life 寿命镾/span>
Energy Efficient 高效率能溏/span>
Low Power Usage 低功率使?/span>
No maintenance costs or lamp changes 没有维护费用或更换灯箠/span>
No Mercury. 没有汝/span>
OPTIONS 选项
Free standing or can be integrated into any OAI 独立或可集成到任何OAI
lithography system 光刻系统
Variety of tooling modules available 可提供多种模具模坖/span>
Height adjustable LS stand available 高度可调的LS竘/span>
Single or multiple wavelength 单波长或多波镾/span>
FEATURES 特?/span>
Beam size 4 to 12 sg.尺寸? "?2 " sg
Wave length 365um 405um or dual wave length 波长365um 405um或双波长
Dual Wave Length Tuning available 可进行双波长调协
Beam uniformity better than +/- 4% 光束均匀性优?/- 4%
Beam intensity up to ~25mW/cm2 光束强度可达~25mW/cm2
Easy to use touch screen interface 易于使用的触摸屏界面
Collimation angle <= 2 degrees 准直觑 <= 2?/span>
Dose control and timed exposure 剂量控制和定时曝先/span>
USB remote interface for PC control USB远程接口的PC控制
Long working 长时间的工作
Tooling Module
Using UV Led Light
Source: 0.5um
Lines and Space
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