主要技术指栆�/h5>

Main Technical Index

加工晶棒直径	4~8英寸
加工晶棒长度	�?00mm
椭圆�?/td>	±0.01mm
圆锥�?/td>	±0.015mm
表面粗糙�?/td>	�?μm
OF宽度头尾偏差	±0.1mm
晶向精度	≤�?0'
V-NOTCH深度	1.00~1.25mm
V-NOTCH角度	89°~93°
工作�?小进给量	0.005mm
磨架*小进给量	0.001mm
直径精度	±0.02mm
工作台往复速度	4-800mm/min连续可调
设备外形尺寸	3620x1800x2000mm
设备总功玆�/td>	20kW
设备自重	4.5t

设备优势

Machine tool edge

• 加工规格夙�/h5>

  可满�?-8寸晶体加�?/p>

  加工长度0-500mm

• 配置髗�/h5>

  控制系统日本三菱

  整机配备自动润滑系统

• 设备功能�?/h5>

  外圆滚磨

  测晶向角�?/p>

  磨OF靡�/p>

  刻V-Notch巡�/p>

• 加工精度髗�/h5>

  光洁度Ra0.8-1.00

  椭圆�?.02/500mm

  圆锥度�?.05/500mm

  径向精度±10'

• 

  硄�/p>

• 

  LT/LN

• 

  碳化硄�/p>

• 

  砷化�?磷化铞�/p>