衬底类型

透明或半透明衬底

光源

氙灯

光源寿命

>8760H

光谱范围

300-1000nm

入射觑�/span>

70度（40�?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">-90� 毎�span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">5度可调）

光斑直径

100x120μm(Min80x100um)

测量时间（不对焦（�/span>

<2S(单层模型),<�?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">6s（多层模型）

膜厚测量范围（单层膜（�/span>

1nm-15μm

对焦

自动讯号对焦

膜厚测量精度

<0.5nm(基于标片)

折射率测量精�?/span>

<0.005(基于标片)

厚度重复性精度：

<0.5A＇�span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">1 sigma标准�?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">,10times）（基于标准片）

折射率重复性精度：

<0.0005＇�span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">1 sigma标准�?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">,10times）（基于标准片）

可测试膜层数野�/span>

�?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">2屁�/span>

标片数量

2牆�/span>